Интегрально-оптический тензодатчик

, оз 7 19) 01 В 11/1 НИЯ СВ ТЕЛЬСТВ ство ССС /16, 197 аф, 1980,ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СС ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЬ ИСАНИЕ ИЭОБР(71) Московский ордена ТруцовогоКрасного Знамени инженерно-Физическинститут(54) (57) ИНТЕГРАЛЬНО-ОПТИЧЕСКИЙТЕНЭОДАТЧИК, содержащий входноесветопроводное волокно, тензочувствительный элемент в виде планарного волновода, дифракционную решетку, две подложки, между которыми расположен тензо.чувствительный элемент, и выходноесветопроводное волокно, о т л и ч а юш и й с я тем, что, с целью повышенияточности измерений, он снабжен двумяэластичными прокладками, расположеннымимежду подложками по обоим торцам планарного волновода, который изготовлен изанизотропного материала, а на егобоковую поверхность нанесена ди 5 ракционнаярешетка.1 0 Г 41 у Ссставите;ь ь, Евстратов 1 зхред Т,Фанта ВОрректор И. Батрушкина Редактор СЦисина аквз810/40 711 раж 602 Подписное ЗНИИПИ Государственного комитета. СССР по д-:лам изобретений и Открытий 113035 1 Яосква, З, Раушская наб., д, 4 ЯФ.1 лиал ППП "Патент, Г, Ужгород, ул: Проектная 4 Иэобрдтение тноитя к исслсдован 1 пздеформации Оптическими методами:Известен интегрвпьно-Оптический тенэодатчик, содержв 1 ций тен" очувствитиь ный элемент, выполненны; В Виде планарпого волновода, две подложки, междукоторьп,1 И расположен тензочувствительный элемент, .Входное и Вь 1 ходное светОВодные волокна Г 1НэдеетатоК уСТРОйСтВа Н 1 ОЗКая ЧувтвитдЪНОСТЬ И-: - ЗВ Д-ЛОЛЯОИЗдЦИИ ИЭ 1 У-ен 1 п 1 и светопроводных Бдлокнах,Нвиболео облизким к предлагаемому дот.Т 111 гческой сущности яьляется интегрально-оч. ический тенэодат пп, содержащий,1 с;ВХОДП 08 СветОГ,роводное ВОЛОКНО; Т 8 НЗО-:всполОжепную на Волноводер две подложки между которьми расположен тензо-чувствитэльный элемент;. и Выходноесветодроводное Волокно2 .,Недостатками иэвестн 01 О устройстваявляются неВысокие точность измеренийи долговечность ;. -аа использованияжидкостноГО ВслнОВОда.Цепь изобретения - повышение точности измерени.-.О 1 ПР.;РР 1 - т; О ВТ 11 Ч 8.К 11 й тю 110 паттпьк3.1СОД 8 РЭК 0--ЗХОДП О Е Свето по ОВ ОДНО 8 ВОЛОКно, те 118:,чу:.=,.тв 11 тельный элемент в видеппюхарнст О 1 .лок 11 адифракционную решеткудве подложки, между которь 1 ми расположвн тэнзочувствитезтьнь 1 й элементи Вьп,"Одное светопрОВОдк 08 ВолокнО, снаб- з 5жен двумя Оуаст 11 чн рц" проклвд 1".вмираспол 1.;-,: ь%"и ме,кду подложками ПООбоим торцам плвнярнОГО волцоводау кОтОрый иэготовиеп иэ анизотропного материала, в 11 в его боковую поверхностьнанесена дь 1 фрвкционнвя решетка.На 1 ерте 1 ке показана схема предлвга."; с."; интегрально-оптического тензодатиИнтегрально-оптический тенэодат дв.содержит входное светопроводное волокно,;, " нзочувствитедьный элемент 2 в ДВгд 8 плвнарнОГО Волновода иэ анизотропногс материала, на боковую поверхноспь которого нанесена дифрвкционйая решетка 3, две подложки 4 и 5, между которыми расположен тензочувствительный элемент 2,две эластичные прокладки 6 и 7, рас. положенные между подложками 4 и 5 по обоим торцам планарного волновода и Вьгходное светопроводное волокно 8.Интегрально-оптич ес 1.11 й тензодатчик работает спедующим образом. По светопроводному волокну 1 светоВое излучение подается в плвнарный Волновод на дифракционную решетку 3, Параметры дифрвкционной решетки 3 и п 1 анар ОГО внизотропного волновода соответствуют условию воэюкновения дифракции Брзгга В аниэотропном Волновоце. СветоВ 08 излуч 81 п 18.дифрагируя на решетк 8 3попвдйет на вь 1 ходное сВетопрОВОдное волокно 8, Усилие, приложенное к опной из подложек 4 или 5, сжимает прокладки 6 и 7 при этом изменяются пара 1,18 тры волновода ( происходит деФормация злпп 1 соида показателя преломления), что пр 11 водит к срыву Брзгговского резонансе на дифракционной решетке 7 и соответстВ 811 но к уменьшение интенсивности иэлу 18 ния в выходном светопроводном волокне 8 пропорциональной приложенной деформюуп 1, Нвиоолее р 8 зкая Отстройка От Брзгговского резонанса наблюдается, когда угол между оптической осью анизотроп ного волновода и процифрагировавшим излучением близок к 90 .Изобретение позволяет увеличить точность измерений., подачи на два порядка увеличить увствительность, обладает высокой долговечностью, дозволяет изменять Би 7 ичину чувствительности пуГем выбора угла между продифрагировавы 1 м ИЗЛУЧЕНИЕМ И НаПРаВЛЕНИЕМ ОПТИЧЕСКОЙ ОСИ ачизотропного волновода Весь объем устройства не превышает 0,8 см-,. что позволяет использовать его для осун 1 ествле 11 щт тдэмерений микронагрузок и деформа, О,-й В труднодост пньж местах с