Способ получения покрытий из окислов металлов
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 268844
Авторы: Змий, Мандрич, Нечипоренко
Текст
О П И С А Н И Е 268844ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Саюз Саветскик Социалистическиз РеспубликЗависимое от авт, свидетельстваКл. 48 Ь, 11 г 08 Заявлено 19.И 11,1968 ( 1264606/22-1) присоединением заявкиМПК С 23 с 11 08 Ъ ДК 621.793,14(088,8) ПриоритетОпубликовано 10.17.1970. Бюллетень1Дата опубликования описания 16 ХП.1970 Комитет по аелаег забретеиий и открытий при Совете Мииистрав СССРАвторыизобретения А ндрич, В. И, Змий и Е, П. Нечипоренко Заявител ПОСО УЧЕНИЯ ПОКРЫТИЙ ИЗ ОКИСЛО МЕТАЛЛОВ 2 0 Предмет из обре МеОх+хС Ме+хСО МеОх+ С МеС, г +СОМеОх+ (х+1) С МеС+хСО Способ пол таллов на ос личаюигиггся т чества покры восстанавлпва 1250 - 1650 С тем повышени 1500 в 18 С. г из окислов меых реакций, отповышения каокисел металла в вакууме при поверхность пуподложки до учения покрытш ове транспортн ем, что, с целью ия, наносимый от углеродохт т осаждают на я температурь С повышен 1500 в 18 С налево и оки разной фазы поверхность. ем температуры подложки авновесие сдвигается спра л металла с помощью газоо ереносится на покрываему Изобретение относится к области получения покрытий из окислов металлов при термическом разложении различных соединении металлов с помощью транспортных реакций.Известен способ получения покрытий из окислов металлов на основе транспортных реакций при термическом разложении галогенида металла в присутствии углекислого газа и водорода.По предлагаемому способу наносимый окисел металла сначала восстанавливают углеродом в вакууме при 1250 - 1650 С и осаждают на поверхность путем повышения температуры подложки до 1500 - 1850 С, что повышает качество получающегося покрытия.Предложенный способ основан на обратимости реакции восстановления окислов металлов углеродом в вакууме не ниже 10 влглг рт. ст. При 1250 - 1650 С происходит восстановление окислов металлов углеродом по реакциям типа: Так для получения покрытия из окиси алюминия на вольфраме окись алюминия и образец из вольфрама, концы которого соединены с источником питания, помещали в графитовый цилиндр, которыц в свою очередь помещали в высокотемпературную печь, температуру в которой поддерживали 1600. Затем на вольфрамовом образце устанавливали 1650 - 1850 С, за счет чего на нем осаждалась окись алюминия а-фазы, Процесс осуществляли в вакууме - 1 Олглг рт. ст. В зависимости от температуры подложки скорость осаждения составляла от 10 до 300 лгк(час.Полученное покрытие отличается хорошей адгезией с основной и плотность его близка к теоретической.Предложенным способом можно получать покрьпия из А.Оз, РеО, 7 гОз, ЯОе и др.
СмотретьЗаявка
1264606
А. Т. Мандрич, В. И. Змий, Е. П. Нечипоренко
МПК / Метки
МПК: C23C 16/06
Метки: металлов, окислов, покрытий
Опубликовано: 01.01.1970
Код ссылки
<a href="https://patents.su/1-268844-sposob-polucheniya-pokrytijj-iz-okislov-metallov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ получения покрытий из окислов металлов</a>
Предыдущий патент: 268843
Следующий патент: Устройство для нанесения многослойных покрытиив вакууме
Случайный патент: Способ коррекции систем автоматического регулирования