Патенты с меткой «травителя»

Номер патента: 739134

Опубликовано: 05.06.1980

Авторы: Коротин, Хапчик, Шапкин

МПК: C25D 21/12

Метки: активности, поддержания, травителя

...1. сопротивления проходят через набор=1, - Я) пд имерителный прибор 3. В зтом ;.П СЛуЧаа КО ВХОда ИЗМЕрИтЕЛЬНОГО ПрибОра 31),дке 11)чеао суммарное сопротивлениег 1 = г .У т(Н) - й 9)Ч ссгпротивпенис термометрасопротивления, погруженно- )5 ГЕ) в травитель:ге 181 - ч,;) сопротивлепие набора резисторов 7.1 гсличинд Г(В) - .Р 9) ЯВ 151 стся Н)стОЯннои,2 г - ВЕЛИЧИПа ПЕРЕМЕЕЕНаЯ, КОтОРаЯ ЗаВИСИт 0 ог температуры трапитсля в Ванг.установив начальную температуру на задатцике и Вклюгив установку, полуцают регулировант)е и поддержание температуры, В слуЧДСКОГДа гКтИВНОСТЬ тРаВИТЕЛЯ В ПРОЦЕССЕтравления упадет, а Время трдвлен)ея увеличит.ся до максимальной 1 Велиги)еы, установленнОЙВ блок 4 определсепя конца травления,. от.".;тройства для...

Номер патента: 1759183

Опубликовано: 30.01.1994

Авторы: Гапоненко, Изидинов

МПК: H01L 21/306

Метки: кремния, регенерации, травителя

СПОСОБ РЕГЕНЕРАЦИИ ТРАВИТЕЛЯ ДЛЯ КРЕМНИЯ, включающий контроль состава отработанного травителя и восстановление исходной активности травителя путем введения в отработанный травитель добавок химических реагентов, отличающийся тем, что, с целью упрощения регенерации травителя из смеси плавиковой, азотной и уксусной кислот с объемным соотношением 1 : (6 - 17) : (1 - 3) и сокращения расхода реагентов, в качестве добавок химических реагентов используют смесь равных объемов перекиси водорода и плавиковой кислоты, причем количество этой смеси, достаточное для восстановления исходной активности единицы объема отработанного травителя данного исходного состава, устанавливают в предварительных экспериментах, связанных с определением общей массы...