Способ изготовления контактных столбиков для межсоединений интегральных схем

Номер патента: 1769635

Авторы: Красницкий, Сарычев, Сасновский, Турцевич

ZIP архив

Описание

Способ изготовления контактных столбиков для межсоединений интегральных схем, включающий формирование слоя кремния на боковых поверхностях контактного окна в диэлектрическом слое, расположенном на полупроводниковой кремниевой подложке с созданными активными и пассивными элементами и первым проводящим слоем, селективное осаждение вольфрама и нанесение второго проводящего слоя, отличающийся тем, что, с целью повышения выхода годных интегральных схем и снижения трудоемкости за счет сокращения длительности процесса формирования контактного столбика, слой кремния формируют до полного заполнения контактного окна, а осаждение вольфрама проводят из парогазовой смеси гексафторида вольфрама с инертным газом при соотношении ингредиентов 1/50-1/3 при 400-550°C и давлении 35-266 Па в течение 30-120 мин.

Заявка

4904600/25, 22.01.1991

Научно-производственное объединение "Интеграл"

Турцевич А. С, Красницкий В. Я, Сасновский В. А, Турцевич В. В, Сарычев О. Э

МПК / Метки

МПК: H01L 21/28

Метки: интегральных, контактных, межсоединений, столбиков, схем

Опубликовано: 20.01.2008

Код ссылки

<a href="https://patents.su/1-1769635-sposob-izgotovleniya-kontaktnykh-stolbikov-dlya-mezhsoedinenijj-integralnykh-skhem.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления контактных столбиков для межсоединений интегральных схем</a>

Похожие патенты