Шикуло

Способ формирования контактных окон в интегральных схемах

Загрузка...

Номер патента: 1627000

Опубликовано: 20.10.1996

Авторы: Василевич, Довнар, Корешков, Шикуло

МПК: H01L 21/302

Метки: интегральных, контактных, окон, схемах, формирования

...нижнего изолирующего слоя над областями р-типд проводимости превышает толщину слоя над областями и-типа проводимости в 2-30 раз, то при полном вскрытии поверхности над областями и-типа проводимости, над областями р-типа проводимости происходит частичное травление слоя двуокиси кремния.После полного вскрытия поверхности подложки над областями и-типа проводимости удаляют фоторезистивную маску, проводят диффузию фосфора из РОС 1 з при температуре Т = 850+1 С в течение 1 = 10 мин и оплавляют фосфоросиликатное стекло при температуре Т = 1000+1 С в течение 110 мин. Далее стандартными методами фотолитографии создают дополнительную фоторезистивную маску из фоторез иста ФПМК толщиной 1,2 мкм с конфигурацией окон к областям р-типа проводимости...

Устройство для монтажа башенных сооружений

Загрузка...

Номер патента: 1569400

Опубликовано: 07.06.1990

Авторы: Гергардт, Заикин, Колпаков, Сорокин, Шикуло

МПК: E04H 12/34

Метки: башенных, монтажа, сооружений

...технических характеристик). Внутри башни устанавливается монтажная мачта с оголовком, соединенным с мачтой двумя парами шарниров, находящихся на двух противоположных гранях мачты.Оголовок мачты оборудован двумя полиспастами. В процессе монтажа башни за пределом технической возможности крана мачта выдвигается и подращивается при помощи двух полиспастов, закрепленных за конструкции башни,Мачта 1 при помощи полиспастов 2 по направляющим 3 выдвигается на высоту монтируемых полублоков 4. Оголовок 5 мачты, установленный вертикально, при поморукцию башни, с воэможностью обеспечения расчетного вылета оголовка мачты путем наклона его относительно соответствующих шарниров. 3 ил. щи грузовых полиспастов 6 и пары шарниров 7 выводится в расчетное...