Способ определения мощности поглощенной дозы ионизирующего излучения в мдп-структурах

Номер патента: 1526515

Авторы: Апанасенко, Гурский

ZIP архив

Описание

Способ определения мощности поглощенной дозы ионизирующего излучения в МДП-структурах, включающий нанесение электродов к структуре, подачу на них напряжения смещения, облучение структуры ионизирующим излучением и вычисление мощности поглощенной дозы излучения, отличающийся тем, что, с целью повышения точности и оперативности способа, до облучения снимают C-V-характеристики с разными скоростями изменения напряжения, определяют скорость, при которой прямой и обратный ходы высокочастотных C-V-характеристик МДП-структуры совпадают на всем участке изменения емкости от максимального до минимального значений и обратно, измеряют C-V-характеристики с выбранной скоростью при облучении в прямом и обратном направлениях и по C-V-зависимости определяют величины параметров V, Cмакс, Cf, Cмин и t q, вычисляют мощность поглощенной дозы по формуле

где q - заряд электрона;

V - гистерезисное изменение напряжения прямого и обратного ходов C-V-характеристики;

Смакс - максимальная емкость структуры;

Смин - минимальная емкость структуры;

Cf - равновесное значение емкости структуры в состоянии инверсии;

tq - время образования инверсионного слоя;

s - диэлектрическая проницаемость полупроводника;

S - плотность проводника;

E i - энергия, необходимая для генерации одной электрон-дырочной пары в полупроводнике под действием ионизирующего излучения.

Заявка

4395459/25, 21.03.1988

Физико-технический институт АН БССР

Гурский Л. И, Апанасенко В. П

МПК / Метки

МПК: G01R 31/26, H01L 21/66

Метки: дозы, излучения, ионизирующего, мдп-структурах, мощности, поглощенной

Опубликовано: 27.06.2012

Код ссылки

<a href="https://patents.su/1-1526515-sposob-opredeleniya-moshhnosti-pogloshhennojj-dozy-ioniziruyushhego-izlucheniya-v-mdp-strukturakh.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ определения мощности поглощенной дозы ионизирующего излучения в мдп-структурах</a>

Похожие патенты