Способ измерения удельного контактного сопротивления
Описание | Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Описание
Способ измерения удельного контактного сопротивления, включающий создание p-n-перехода в полупроводниковой подложке, нанесение четырех металлических контактов, расположенных на одной линии, подключение зондов к контактам, пропускание тока I через первый и четвертый контакты, измерение падения напряжения U 1 между первым и вторым, а также U2 между вторым и третьим контактами, вычисление удельного контактного сопротивления по формуле
где U = U1 - U2;
S к - площадь контакта,
отличающийся тем, что, с целью повышения точности путем компенсации систематической погрешности, одновременно с нанесением четырех контактов производят нанесение пятого дополнительного контакта, расположенного на одной линии перед первым контактом, перед пропусканием тока через первый и четвертый контакты осуществляют пропускание тока между пятым дополнительным и четвертым контактами и балансируют схему измерения падений напряжений.
Заявка
3877689/25, 04.04.1985
Физико-технический институт АН БССР
Гурский Л. И, Бобченок Ю. Л, Зеленин В. А, Автюшков Е. В
МПК / Метки
МПК: H01L 21/66
Метки: контактного, сопротивления, удельного
Опубликовано: 27.06.2012
Код ссылки
<a href="https://patents.su/1-1284430-sposob-izmereniya-udelnogo-kontaktnogo-soprotivleniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ измерения удельного контактного сопротивления</a>
Предыдущий патент: Способ создания тонкого подзатворного диэлектрика
Следующий патент: Способ определения мощности поглощенной дозы ионизирующего излучения в мдп-структурах
Случайный патент: Устройство для укладки жгутового волокна в контейнер