Способ подготовки образцов для электронно-микроскопических и электронографических исследований

Номер патента: 1505158

Авторы: Автюшков, Бобченок, Тралле, Цыбульская

ZIP архив

Описание

Способ подготовки образцов для электронно-микроскопических и электронографических исследований, включающий размещение исходной заготовки на поверхности нейтральной жидкости исследуемой стороной вниз, нанесение на обратную сторону заготовки порции жидкого травителя и выдержку заготовки до появления в ней сквозных микроотверстий, отличающийся тем, что, с целью повышения качества образцов за счет уменьшения подтравливания приповерхностных слоев заготовки, при выдержке заготовки в поверхностном слое нейтральной жидкости создают ее поток со скоростью 0,1-0,2 м/с в направлении, параллельном плоскости заготовки.

Заявка

4357590/21, 04.01.1988

Физико-технический институт АН БССР

Бобченок Ю. Л, Цыбульская С. И, Тралле И. Е, Автюшков Е. В

МПК / Метки

МПК: G01N 1/28

Метки: исследований, образцов, подготовки, электронно-микроскопических, электронографических

Опубликовано: 27.09.2013

Код ссылки

<a href="https://patents.su/1-1505158-sposob-podgotovki-obrazcov-dlya-ehlektronno-mikroskopicheskikh-i-ehlektronograficheskikh-issledovanijj.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ подготовки образцов для электронно-микроскопических и электронографических исследований</a>

Похожие патенты