Способ обработки тонких проводящих пленок мопи мп-систем
Описание | Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Описание
Способ обработки тонких проводящих пленок МОП- и МП-систем путем воздействия на них импульсным электромагнитным полем, отличающийся тем, что, с целью повышения адгезии пленок и снижения разброса ее величины по площади подложки, воздействие осуществляют при следующих параметрах электромагнитного поля:
энергия в импульсе W = Kw (Дж),
частота числом импульсов от 1 до 10,
где Kw = 1,786·1011(0,1 - 1,2) Дж/Ом·м и K f = 26,79·1011(0,1 - 1,0) Гц/Ом - коэффициенты пропорциональности;
- удельное электросопротивление пленки (Ом·м);
S - толщина пленки (м).
Заявка
3999301/25, 10.11.1985
Физико-технический институт АН БССР
Чачин В. Н, Мелещенко Б. А, Скрипниченко А. Л, Гурский Л. И, Зеленин В. А, Конюшенко А. М
МПК / Метки
МПК: H01L 21/268
Метки: мопи, мп-систем, пленок, проводящих, тонких
Опубликовано: 27.09.2013
Код ссылки
<a href="https://patents.su/1-1345956-sposob-obrabotki-tonkikh-provodyashhikh-plenok-mopi-mp-sistem.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ обработки тонких проводящих пленок мопи мп-систем</a>
Предыдущий патент: Эвтектический сплав на основе никеля
Следующий патент: Способ изготовления жидкокристаллического индикатора
Случайный патент: Электродвигатель с автономными магнитными системами