Способ обработки тонких проводящих пленок мопи мп-систем

ZIP архив

Описание

Способ обработки тонких проводящих пленок МОП- и МП-систем путем воздействия на них импульсным электромагнитным полем, отличающийся тем, что, с целью повышения адгезии пленок и снижения разброса ее величины по площади подложки, воздействие осуществляют при следующих параметрах электромагнитного поля:

энергия в импульсе W = Kw (Дж),

частота числом импульсов от 1 до 10,

где Kw = 1,786·1011(0,1 - 1,2) Дж/Ом·м и K f = 26,79·1011(0,1 - 1,0) Гц/Ом - коэффициенты пропорциональности;

- удельное электросопротивление пленки (Ом·м);

S - толщина пленки (м).

Заявка

3999301/25, 10.11.1985

Физико-технический институт АН БССР

Чачин В. Н, Мелещенко Б. А, Скрипниченко А. Л, Гурский Л. И, Зеленин В. А, Конюшенко А. М

МПК / Метки

МПК: H01L 21/268

Метки: мопи, мп-систем, пленок, проводящих, тонких

Опубликовано: 27.09.2013

Код ссылки

<a href="https://patents.su/1-1345956-sposob-obrabotki-tonkikh-provodyashhikh-plenok-mopi-mp-sistem.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ обработки тонких проводящих пленок мопи мп-систем</a>

Похожие патенты