Патенты с меткой «мп-систем»

Номер патента: 1345956

Опубликовано: 27.09.2013

Авторы: Гурский, Зеленин, Конюшенко, Мелещенко, Скрипниченко, Чачин

МПК: H01L 21/268

Метки: мопи, мп-систем, пленок, проводящих, тонких

Способ обработки тонких проводящих пленок МОП- и МП-систем путем воздействия на них импульсным электромагнитным полем, отличающийся тем, что, с целью повышения адгезии пленок и снижения разброса ее величины по площади подложки, воздействие осуществляют при следующих параметрах электромагнитного поля:энергия в импульсе W = Kw (Дж),частота числом импульсов от 1 до 10,где Kw = 1,786·1011(0,1 - 1,2) Дж/Ом·м и K f = 26,79·1011(0,1 - 1,0) Гц/Ом - коэффициенты...