Способ создания тестовых моп-структур
Описание | Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Описание
Способ создания тестовых МОП-структур, включающий нагрев кремниевой пластины до температуры окисления, выдержку пластины при этой температуре в окислительной среде, охлаждение полученной структуры окисел - полупроводник до комнатной температуры и нанесение полевого электрода из молибдена магнетронным распылением, отличающийся тем, что, с целью обеспечения возможности определения качества подзатворного диэлектрика МОП-структуры, нанесение электрода на окисел структуры осуществляют при температуре кристаллизации двуокиси кремния в -кристобалит.
Заявка
4013579/25, 10.01.1986
Физико-технический институт АН БССР
Румак Н. В, Хатько В. В, Плотников В. Н
МПК / Метки
МПК: H01L 21/66
Метки: моп-структур, создания, тестовых
Опубликовано: 27.06.2012
Код ссылки
<a href="https://patents.su/1-1338720-sposob-sozdaniya-testovykh-mop-struktur.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ создания тестовых моп-структур</a>
Предыдущий патент: Способ определения количества топлива в баке транспортного средства
Следующий патент: Устройство для измерения параметров полупроводниковых структур
Случайный патент: Трехфазный инвертор