Способ создания тестовых моп-структур

Номер патента: 1338720

Авторы: Плотников, Румак, Хатько

ZIP архив

Описание

Способ создания тестовых МОП-структур, включающий нагрев кремниевой пластины до температуры окисления, выдержку пластины при этой температуре в окислительной среде, охлаждение полученной структуры окисел - полупроводник до комнатной температуры и нанесение полевого электрода из молибдена магнетронным распылением, отличающийся тем, что, с целью обеспечения возможности определения качества подзатворного диэлектрика МОП-структуры, нанесение электрода на окисел структуры осуществляют при температуре кристаллизации двуокиси кремния в -кристобалит.

Заявка

4013579/25, 10.01.1986

Физико-технический институт АН БССР

Румак Н. В, Хатько В. В, Плотников В. Н

МПК / Метки

МПК: H01L 21/66

Метки: моп-структур, создания, тестовых

Опубликовано: 27.06.2012

Код ссылки

<a href="https://patents.su/1-1338720-sposob-sozdaniya-testovykh-mop-struktur.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ создания тестовых моп-структур</a>

Похожие патенты