Способ изготовления кремниевых мембран

Номер патента: 1266401

Авторы: Викерев, Кафтанатьев, Нестеров, Скворцов, Удальцов

ZIP архив

Описание

Способ изготовления кремниевых мембран, включающий шлифование, полирование и анизотропное травление подложек, отличающийся тем, что, с целью повышения точности изготовления и выхода годных, после двустороннего шлифования и полирования нерабочей стороны подложек на этой стороне производят анизотропное травление углублений до получения толщины мембран, превышающей требуемую толщину на 1,2-1,35 глубины нарушенного слоя, образующегося после шлифования, а затем производят химико-механическое полирование рабочей стороны подложек до достижения требуемой толщины мембран, причем давление на мембраны в процессе полирования рабочей стороны изменяют в соответствии с выражением

Р = k h2,

где k - эмпирический коэффициент, равный (3-5)·10-13 Па/м3;

h - текущее значение толщины мембран в процессе полирования, м.

Заявка

3858299/25, 22.02.1985

Скворцов К. Ф, Нестеров Ю. И, Удальцов Е. В, Кафтанатьев В. Г, Викерев А. А

МПК / Метки

МПК: H01L 21/306

Метки: кремниевых, мембран

Опубликовано: 20.12.2005

Код ссылки

<a href="https://patents.su/1-1266401-sposob-izgotovleniya-kremnievykh-membran.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления кремниевых мембран</a>

Похожие патенты