Способ изготовления кремниевых мембран
Описание | Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 1266401
Авторы: Викерев, Кафтанатьев, Нестеров, Скворцов, Удальцов
Описание
Способ изготовления кремниевых мембран, включающий шлифование, полирование и анизотропное травление подложек, отличающийся тем, что, с целью повышения точности изготовления и выхода годных, после двустороннего шлифования и полирования нерабочей стороны подложек на этой стороне производят анизотропное травление углублений до получения толщины мембран, превышающей требуемую толщину на 1,2-1,35 глубины нарушенного слоя, образующегося после шлифования, а затем производят химико-механическое полирование рабочей стороны подложек до достижения требуемой толщины мембран, причем давление на мембраны в процессе полирования рабочей стороны изменяют в соответствии с выражением
Р = k h2,
где k - эмпирический коэффициент, равный (3-5)·10-13 Па/м3;
h - текущее значение толщины мембран в процессе полирования, м.
Заявка
3858299/25, 22.02.1985
Скворцов К. Ф, Нестеров Ю. И, Удальцов Е. В, Кафтанатьев В. Г, Викерев А. А
МПК / Метки
МПК: H01L 21/306
Метки: кремниевых, мембран
Опубликовано: 20.12.2005
Код ссылки
<a href="https://patents.su/1-1266401-sposob-izgotovleniya-kremnievykh-membran.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления кремниевых мембран</a>
Предыдущий патент: Установка для очистки отливок
Следующий патент: Трехканальная резервированная вычислительная система
Случайный патент: Способ сплава лесоматериалов