Викерев
Способ изготовления кремниевых мембран
Номер патента: 1266401
Опубликовано: 20.12.2005
Авторы: Викерев, Кафтанатьев, Нестеров, Скворцов, Удальцов
МПК: H01L 21/306
Метки: кремниевых, мембран
Способ изготовления кремниевых мембран, включающий шлифование, полирование и анизотропное травление подложек, отличающийся тем, что, с целью повышения точности изготовления и выхода годных, после двустороннего шлифования и полирования нерабочей стороны подложек на этой стороне производят анизотропное травление углублений до получения толщины мембран, превышающей требуемую толщину на 1,2-1,35 глубины нарушенного слоя, образующегося после шлифования, а затем производят химико-механическое полирование рабочей стороны подложек до достижения требуемой толщины мембран, причем давление на мембраны в процессе полирования рабочей стороны изменяют в соответствии с выражениемР = k...