Викерев

Способ изготовления кремниевых мембран

Загрузка...

Номер патента: 1266401

Опубликовано: 20.12.2005

Авторы: Викерев, Кафтанатьев, Нестеров, Скворцов, Удальцов

МПК: H01L 21/306

Метки: кремниевых, мембран

Способ изготовления кремниевых мембран, включающий шлифование, полирование и анизотропное травление подложек, отличающийся тем, что, с целью повышения точности изготовления и выхода годных, после двустороннего шлифования и полирования нерабочей стороны подложек на этой стороне производят анизотропное травление углублений до получения толщины мембран, превышающей требуемую толщину на 1,2-1,35 глубины нарушенного слоя, образующегося после шлифования, а затем производят химико-механическое полирование рабочей стороны подложек до достижения требуемой толщины мембран, причем давление на мембраны в процессе полирования рабочей стороны изменяют в соответствии с выражениемР = k...