Устройство для получения поликристаллического кремния

Описание

1. Устройство для получения поликристаллического кремния осаждением его из газовой фазы на нагретые электрическим током П-образные кремниевые стержни, включающее охлаждаемый металлический кожух с электроизолятором внутри него, установленный на опорной плите, снабженной штуцерами для подачи и отвода реакционного газа и имеющей отверстия, в которых установлены электроизолированные токоподводы для крепления концов кремниевых стержней, отличающееся тем, что, с целью сокращения подготовительно-заключительных операций, электроизолятор выполнен в форме защитного пояса, закрепленного на внутренней стенке в верхней части кожуха.
2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что электроизолятор выполнен секционным и закреплен на кронштейнах.

Заявка

2972214/26, 26.06.1980

Волков И. Г, Кравцов А. М, Котин Н. Н, Поселянин И. В, Семенов А. И, Сивец Т. Г, Трусов А. А, Фролова В. Д

МПК / Метки

МПК: C01B 33/02

Метки: кремния, поликристаллического

Опубликовано: 20.03.2000

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-930851-ustrojjstvo-dlya-polucheniya-polikristallicheskogo-kremniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для получения поликристаллического кремния</a>

Похожие патенты