Устройство для жидкостной эпитаксии

Номер патента: 824694

Авторы: Марончук, Сушко

Описание

Устройство для жидкостной эпитаксии, включающее камеру для расплава и источника его подпитки, подложкодержатель, установленный на вертикальном валу, и нагреватель, отличающееся тем, что, с целью получения толстых слоев с высокой однородностью свойств и увеличения скорости процесса, подложкодержатель выполнен в виде стакана с плоским дном, внутри которого установлена камера с возможностью осевого перемещения, имеющая в дне щель со скосом в одном направлении и выступы с наружной стороны, обеспечивающие зазор между дном и подложкой.

Заявка

2597124/26, 28.03.1978

Институт физики полупроводников СО АН СССР, Новосибирский государственный университет

Марончук Ю. Е, Марончук И. Е, Сушко Б. С

МПК / Метки

МПК: C30B 19/06

Метки: жидкостной, эпитаксии

Опубликовано: 10.11.1999

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-824694-ustrojjstvo-dlya-zhidkostnojj-ehpitaksii.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для жидкостной эпитаксии</a>

Похожие патенты