Способ обработки индиевых столбов

Номер патента: 1220512

Автор: Клименко

Описание

Способ обработки индиевых столбов, включающий оплавление, отличающийся тем, что, с целью увеличения надежности контактов, столб подвергают многократному расплавлению импульсным лазерным излучением и последующей рекристаллизации, при этом плотность мощности излучения распределена радиально симметрично и имеет кольцевую структуру, причем K1<d<r<sub>o, где d - половина диагонали индиевого столба, rо - внешний радиус лазерного пучка превышает d на 10-20%, r4 - внутренний радиус лазерного пучка, который составляет 30-70% от d, а частота следования импульсов составляет 20-25 Гц.

Заявка

3776858/25, 13.07.1984

Новосибирский государственный университет, Институт физики полупроводников СО АН СССР

Клименко Э. А, Клименко А. Г

МПК / Метки

МПК: H01L 21/268

Метки: индиевых, столбов

Опубликовано: 10.11.1999

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-1220512-sposob-obrabotki-indievykh-stolbov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ обработки индиевых столбов</a>

Похожие патенты