Способ определения концентрации электронов в приповерхностном слое вырожденного антимонида индия п-типа

Номер патента: 708792

Авторы: Коршунов, Морозов, Тихонов

Описание

Способ определения концентрации электронов в приповерхностном слое вырожденного антимонида индия, n-типа, включающий освещение монохроматическим поляризованным светом образцов исследуемого и взятого в качестве эталона невырожденного полупроводника, многократное измерение эллипсометрического параметра и соответствующих ему длин волн, определение энергетического сдвига края полосы собственного поглощения, отличающийся тем, что, с целью упрощения способа перенесением измерений в видимую область спектра, перед освещением поверхности исследуемого образца и эталона аморфизируют с сохранением исходной концентрации электронов, при измерениях эллипсометрического параметра находят по крайней мере две пары длин волн, удовлетворяющих условиям

где ( o) - параметр, измеренный на эталоне;
( ) - параметр, измеренный на исследуемом образце;
o л - длина волны света, освещающего эталон;
л - длина волны света, освещающего исследуемый образец;
EG - сдвиг края полосы собственного поглощения;
и по найденному сдвигу края полосы собственного поглощения расчетным путем определяют концентрацию электронов.

Заявка

2603652/25, 13.04.1978

Коршунов А. Б, Морозов В. А, Тихонов В. Г

МПК / Метки

МПК: G01N 21/21

Метки: антимонида, вырожденного, индия, концентрации, п-типа, приповерхностном, слое, электронов

Опубликовано: 10.11.2001

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-708792-sposob-opredeleniya-koncentracii-ehlektronov-v-pripoverkhnostnom-sloe-vyrozhdennogo-antimonida-indiya-p-tipa.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ определения концентрации электронов в приповерхностном слое вырожденного антимонида индия п-типа</a>

Похожие патенты