Способ определения характеристик варизонных полупроводниковых структур

Описание

Способ определения характеристик варизонных полупроводниковых структур, основанный на измерении отраженного света, отличающийся тем, что, с целью проведения неразрушающего контроля распределения ширины запрещенной зоны по толщине структуры, производят спектральные измерения дифференциальных изменений сдвига фаз при -модуляции светового луча.

Заявка

2067891/25, 17.10.1974

Институт физики полупроводников СО АН СССР

Марончук Ю. Е, Сеношенко О. В, Соловьев В. Ф, Шерстяков А. П, Энтин М. В, Кравченко А. Ф

МПК / Метки

МПК: G01N 21/55

Метки: варизонных, полупроводниковых, структур, характеристик

Опубликовано: 20.05.2000

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-513562-sposob-opredeleniya-kharakteristik-varizonnykh-poluprovodnikovykh-struktur.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ определения характеристик варизонных полупроводниковых структур</a>

Похожие патенты