Способ изготовления полупроводниковых приборов

Номер патента: 429604

Авторы: Болотов, Васильев, Герасименко, Смирнов

Описание

Способ изготовления полупроводниковых приборов с использованием облучения полупроводника высокоэнергетическими легкими частицами, например электронами, отличающийся тем, что, с целью увеличения стабильности уменьшения времени жизни неравновесных носителей заряда в полупроводнике, облучение ведут при температуре выше температуры начала собственной проводимости, но ниже температуры эффективной диффузии примеси.

Заявка

1790173/25, 29.05.1972

Институт физики полупроводников СО АН СССР

Болотов В. В, Васильев А. В, Герасименко Н. Н, Смирнов Л. С

МПК / Метки

МПК: H01L 21/26

Метки: полупроводниковых, приборов

Опубликовано: 20.05.2000

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-429604-sposob-izgotovleniya-poluprovodnikovykh-priborov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления полупроводниковых приборов</a>

Похожие патенты