Способ травления кристаллов кварца
Формула | Описание | Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 1476980
Авторы: Захаров, Мананникова, Черпухина
Формула
СПОСОБ ТРАВЛЕНИЯ КРИСТАЛЛОВ КВАРЦА, включающий травление в растворе, содержащем неорганическую кислоту и нетравящие компоненты при нагреве, отличающийся тем, что, с целью уменьшения степени шероховатости поверхности, перед травлением кристалл обрабатывают в одном нетравящем компоненте или их смеси при нагреве до температуры в пределах 20oC от температуры травления.
Описание
Целью изобретения является уменьшение степени шероховатости поверхности.
П р и м е р 1. Кристаллы кварца подвергают механической шлифовке до степени шероховатости поверхностей (Rz ) 0,1 мкм, затем их отмывают и обрабатывают при 90оС в диметилформамиде, а затем при 110оС в травителе, содержащем, об:
Фтористоводородная кислота
ОСЧ 27-5 5
Диметилформамид 3
Бензиловый спирт 4
После обработки получают кристаллы со степенью шероховатости поверхности (R z) 0,05 мкм.
П р и м е р 2. Процесс проводят как в примере 1, но после механической шлифовки кристаллы обрабатывают при 100оС в смеси диметилформамида и бензилового спирта при объемном соотношении 1: 1. Получены кристаллы со степенью шероховатости поверхностей (R z) 0,07 мкм.
П р и м е р 3. Процесс проводят как в примере 1, но после механической шлифовки сразу проводят обработку в травителе. Получены кристаллы со степенью шероховатости (R z) 0,20 мкм.
Из примеров видно, что степень шероховатости у кристаллов, прошедших перед травлением обработку в нетравящих компонентах травителя, уменьшается. (56) Хейман Р. В. Растворение кристаллов: Л. Недра, 1979, с. 196-201.
Авторское свидетельство СССР N 1321048, кл. C 09 K 13/08, 1986.
Изобретение относится к обработке кристаллов, а именно к технологии травления кристаллов кварца. Может быть использовано при изготовлении пьезоэлектрических резонаторов и позволяет уменьшить степень шероховатости поверхности. Кристалл кварца после механической полировки обрабатывают в одном нетравящем компоненте травителя или их смеси при температуре, равной или на 20 С меньшей температуры последующего травления. Обработанный кристалл подвергают травлению при нагреве в растворе, содержащем неорганическую кислоту и нетравящие компоненты. Получают кристаллы со степенью шероховатости до 0,05 мкм.
Заявка
4136663/26, 16.10.1986
Захаров В. И, Мананникова Л. А, Черпухина Г. Н
МПК / Метки
МПК: C30B 29/18, C30B 33/10
Метки: кварца, кристаллов, травления
Опубликовано: 15.05.1994
Код ссылки
<a href="https://patents.su/0-1476980-sposob-travleniya-kristallov-kvarca.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ травления кристаллов кварца</a>
Предыдущий патент: Барабан для сборки покрышек пневматических шин
Следующий патент: Шагающий вездеход
Случайный патент: Устройство для нанесения клея на след колодки перед соединением стельки со следом колодки