Способ термообработки многослойных структур соединений a iiibv

Номер патента: 1028196

Авторы: Золотухин, Марончук, Якушева

Описание

Способ термообработки многослойных структур соединений AIII BV, включающий отжиг в градиенте температуры, отличающийся тем, что, с целью повышения стабильности характеристик приборов за счет выведения из рабочей области структур металлических микровключений, одновременно с отжигом производят облучение импульсами лазерного излучения с энергией квантов, на 0,1-0,3 эВ меньшей энергий края фундаментного поглощения полупроводника, со скважностью импульсов 102-103 и удельной мощностью 0,5-10 Дж/см2 с, причем лазерное излучение направляют излучение не менее нагретую поверхность структуры.

Заявка

3343377/25, 01.10.1981

Институт физики полупроводников СО АН СССР, Новосибирский государственный университет

Золотухин В. Е, Марончук Ю. Е, Марончук И. Е, Якушева Н. А

МПК / Метки

МПК: H01L 21/324

Метки: iiibv, многослойных, соединений, структур, термообработки

Опубликовано: 10.11.1999

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-1028196-sposob-termoobrabotki-mnogoslojjnykh-struktur-soedinenijj-a-iiibv.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ термообработки многослойных структур соединений a iiibv</a>

Похожие патенты