Способ получения инверсного слоя в антимониде индия

Номер патента: 1005602

Авторы: Дубровская, Коршунов, Тихонов, Тихонова

Описание

Способ получения инверсного слоя в антимониде индия, включающий облучение подложки ионами, нанесение защитной пленки и отжиг радиационных дефектов, отличающийся тем, что, с целью упрощения способа, отжиг проводят одновременно с нанесением защитной пленки при температуре подложки от 100 до 300oC в течение времени от 10 до 30 мин.

Заявка

3324995/25, 21.07.1981

Коршунов А. Б, Дубровская Е. К, Тихонова О. В, Тихонов В. Г

МПК / Метки

МПК: H01L 21/324

Метки: антимониде, инверсного, индия, слоя

Опубликовано: 20.09.2001

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-1005602-sposob-polucheniya-inversnogo-sloya-v-antimonide-indiya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ получения инверсного слоя в антимониде индия</a>

Похожие патенты