Зайдлин

Способ изготовления изоляции элементов интегральных схем

Номер патента: 1340500

Опубликовано: 20.04.1996

Авторы: Даниелян, Евдокимов, Зайдлин, Манжа, Фишель

МПК: H01L 21/76

Метки: изоляции, интегральных, схем, элементов

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИЗОЛЯЦИИ ЭЛЕМЕНТОВ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ, включающий формирование в кремниевой подложке сплошного скрытого слоя, наращивание эпитаксиального слоя, осаждение маскирующих пленок, формирование в них окон, вытравливание в эпитаксиальном, скрытом слоях и в исходной подложке канавок, формирование в канавках диэлектрического покрытия, удаление его с дна канавок, противоканальное подлегирование дна канавок, осаждение двуокиси кремния, удаление двуокиси кремния с изолирующих областей и частично с канавок, отличающийся тем, что, с целью упрощения технологии изготовления изоляции элементов за счет снижения требований к профилю канавок и повышения выхода годных интегральных схем путем устранения пустот в канавках, осаждение двуокиси...

Устройство для окисления кремниевых подложек

Загрузка...

Номер патента: 1634054

Опубликовано: 15.07.1994

Авторы: Зайдлин, Зайцев, Кононов, Красников, Нестеров

МПК: H01L 21/316

Метки: кремниевых, окисления, подложек

...для ввода окислителя, щелью 4, отверстиями 5 и 6 для ввода и вывода парогазовых смесей, подвижной заслонки 7, подложкодержателя (кварц) 8, кремниевых подложек 9, заглушки 10 реактора (кварц).Устройство работает следующим образом. В исходном состоянии подвижная заслонка 7 входит в щель 4 в реакторе и разделяет его на,две части, Щель в реакторе выполнена шириной 12 мм на 3/4 его диаметра. Реактор свободен от заглушки 10. Кремниевые подложки 9, помещенные на подложкодержатель 8, загружают в переднюю часть реактора 2 перед заслонкой 7 и крышку реактора закрывают, Затем в отверстие 5 вводят парогазовую смесь (например, смесь паров соляной кислоты с азотом), которая, очищая кремниевые подложки, выходит через отверстие 6 и зазор между...

Устройство для штамповки

Загрузка...

Номер патента: 1027058

Опубликовано: 07.07.1983

Авторы: Бовыкин, Бочаров, Зайдлин, Салов, Сафонов

МПК: B30B 1/18

Метки: штамповки

...причем каждаясерьга шарнирно закреплена на внутреннем полэуне и шарнирно связана с одним из рычагов,На фиг, 1 изображено предлагаемое устройство, общий вид; на Фиг. 2- схема расположения штамповой оснастки (в момент окончания штамповки). 65 Устройство содержит станину пресса 1, в направляющих которой расположен наружный ползун 2. В направляющих последнего расположен внутренний ползун 3, связанный с помощью подпятника 4 и подшипника 5 с полым винтом б, который через гайку 7 связан с приводным винтом 8, а через гайку 9 - с наружным олзуном 2. Приводной винт 8 установлен с помощью йодпятника 10 и подшипника 11 в .верхней поперечине пресса и жестко соединен с маховиком 12, В боковых полостях внутреннего ползуна установлены два...

Машина для штамповки заготовок

Загрузка...

Номер патента: 940942

Опубликовано: 07.07.1982

Авторы: Зайдлин, Козарезов, Колесников, Моджеевский, Суринов, Суханов

МПК: B21D 37/12

Метки: заготовок, штамповки

...также червяк 40 и червячное колесо 41, жестко скрепленное с держателем 34,Работает, машина в следующем порядке.Заготовку укладывают в штамп 9. Включают, привод вертикального,перемещения опоры 23, в результате чего опора 23 перемещается вверх и через оси 18, 20, 22 и колена 19, 21 ломающегося рычага перемещает вверх .ползун 3, Как только заготовка коснется инструмента 35 включаются двигатель вращения держателя 34 с инструментом 35 и двигатель вращения кривошипного вала 14, Внедрение инструмента в заготовку (локальная штамповка) происходит при совмещении центров осей 18, 20 и 22 на одной вертикальной прямой. Во время внедрения инструмента в заготовку возникает максимальное усилие на ползуне 3, и червячные колеса 28 и 41 останавливаются...

Устройство для подачи заготовок

Загрузка...

Номер патента: 880577

Опубликовано: 15.11.1981

Авторы: Белильцев, Бовыкин, Зайдлин, Колосков, Попов, Салов, Хаймов, Челищев, Шаблинский, Щербина

МПК: B21D 43/00

Метки: заготовок, подачи

...воздуха к воэдухораспределителям 23, 17 и 22 клапанам15, 16, 26, 27 и реле времени 28поршень гидроцилиндра 31 находитсяв нижнем положении, сжатый воздух через воздухораспределитель 17 посту 10 пает в правую полость мультипликатора 25. Клапан 27 нажат,При нажатии кнопки Пуск" включаются механизм 3 захвата заготовоки механизм 7 подачи заготовок, аклапан 15 подает команду на воздухораспределитель 18 - сжатый воздухчерез воздухораспределитель 17 поступает в левую полость мультипликатора 25,При этом гидравлический поршеньчерез обратный клапан 29 подает масло под поршень цилиндра 3. При нажатии на клапан 26 поступает сигнална воздухораспределитель 17, который подает воздух в правую полостьмультипликатора 25, При этом маслоиз гицробака 19...

Устройство для индукционногонагрева цилиндрических ферро магнитных заготовок

Загрузка...

Номер патента: 840144

Опубликовано: 23.06.1981

Авторы: Андреев, Бовыкин, Зайдлин, Попов, Рыскин, Трофимов, Шарыгин

МПК: C21D 1/42

Метки: заготовок, индукционногонагрева, магнитных, ферро, цилиндрических

...магнитной системы можносвести к минимуму, Этим также достигается стабильность и постоянство по величине полезных проталкивающих заготовки 40сил, Расположение магцитопроводов нарасстоянии, равном 0,7-0,8 длины магнитов, и приближение рабочего зазора к магнитам в значительной мере приводит куменьшению попей рассеяния и улучшению 45энергетических характеристик использования магнитовНа фиг, 1. изображено предлагаемоеустройство для индукционного нагрева цилиндрических ферромагнитных заготовок,общий вищ на фиг. 2 - разрез А-А нафиг. 1,Устройство содержит индуктор 1 итранспортирующий механизм 2 с приводом,предназначенный для подачи цилиндрическихферромагнитных заготовок 3 в индуктор 1,Транспортирующий механизм состоит иэдвух...

Высокоскоростной молот

Загрузка...

Номер патента: 299109

Опубликовано: 30.04.1978

Авторы: Григорьев, Зайдлин, Махтюк

МПК: B21J 13/08

Метки: высокоскоростной, молот

...молот следующим образом.Перед ударом бабы 14 и 15 находятся в своем исходном положении, как показано на фиг. 1, В исходном положении удерживаются газом и пустотелые поршни 8 и 9, а также оребренные поршни со штоками 10, так как полости В, Г и Д соединены через распределительную аппаратуру (на чертеже не показано) со сливом, а полости Б через клапан управления (на чертеже не показан) - с атмосферой.Для удара в полость Д подается жидкость высокого давления, под действием которой оребренные поршни со штоками 10 перемещаются один вниз, другой вверх, развертывают замки 12 и 13 так, что выступы замков выходят из-под выступов штоков баб 14 и 15 и устанавливаются против пазов в них,Затем через клапан управления (на чертеже не...

Пневмогидравлическоий высокоскоростной молот

Загрузка...

Номер патента: 352511

Опубликовано: 30.04.1978

Авторы: Григорьев, Зайдлин, Матвиец, Махтюк

МПК: B21J 7/28

Метки: высокоскоростной, молот, пневмогидравлическоий

...штампа, Снизу на плавающий поршень-разделитель давит сжатый газ, сверху - жидкость, которой заполнена полость 11, связанная каналом 12 с золотником и насосом.В средней части поршня-разделителя имеется седло 13 для клапана 7, в последнем канал 14 соединяет полость 15 с золотником (не показан) и далее с насосом.Работает молот следующим образом. Вначале подвижные части молота ставятся в исходное положение. Плавающий поршень-разделитель седлом 13 прижимается под действием газа к клапану 7 и находится в верхнем положении. Полости 11 и 15 соединены со сливом. Баба находится в верхнем положении,Для производства удара жидкость под давлением подается в полость 11. Поршень-разделитель вместе с клапаном опускается, при этом клапан жидкостью прижат...

Винтовой пресс

Загрузка...

Номер патента: 382521

Опубликовано: 01.01.1973

Авторы: Анисимов, Вител, Григорьев, Зайдлин

МПК: B30B 1/18

Метки: винтовой, пресс

...поршни 15 и 1 б, выполненные заодно с нажнмными дисками 17 и 18.Нажимные диски 17 и 18 поддерживаются и отжимаются пружинами 19 и винтами 20.Маховик клино-ременной передачей 21 связан со шкивом электродвигателя 22.Полость в крышке 13 помечена позицией .1, а в крышке 14 - Б,Предлагаемый пресс работает следующим образом.От электродвигателя через клино-ременную передачу крутящий момент передается маховику.Перед пуском электродвигателя полости А и Б соединяются через воздухораспределптель (на чертеже не показан) с атмосферой. С пуском электродвигателя вращение передается на маховик. Вместе с ним вращается и хвостовик, через который вращение передается на диски тормоза и муфты. Поступательного движения бабы с хвостовиком нет, т. е. баба...

Оатешш-техшчеойав библиотека

Загрузка...

Номер патента: 326017

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Анисимов, Воронежское, Григорьев, Зайдлин, Махтюк, Механических

МПК: B21J 7/24

Метки: библиотека, оатешш-техшчеойав

...16 имеют возможность перемещаться и взаимодействовать с буртом штока 5.Втулка 7 и плунжср 8 образуют щель 17, связанную трубопроводом 18 с гидроприводом.Полость 19 золотника 9 взаимодействует с клапаном управления и с цилиндрической Выемкой 12, Полость 20 связана с атмосферои.Молот раоотает следующим образом.Кахера 6 постояшо соедшепа тру оопрооДОм с емкостью, Б к 0101 РОй пахОДс 51 1 пс 111- ный газ высокого даленя а чертежах пе показана),Перед совершением удара соударяющисся ыаОсъ находятся В исходном п 0.10 жепипг рггма 2 в нижнем, баба 4 в Верхнем. В Верхсм положении удерРкивается газом и плупжер 8 с золотником 9. Полость 19 через клапан управления соединена с атмосферои. Шток 14 газом рабочей камеры удерживаются в верхнем...

Высокоскоростной молот

Загрузка...

Номер патента: 326016

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Анисимов, Григорьев, Зайдлин, Махтюк, Посвеженков

МПК: B21J 7/24, B21J 7/38

Метки: высокоскоростной, молот

...8, смонтированных в основании станины. В верхнем положении баба удерживается уплотняощим устройством 9, смонтированным в крышке 10 рамы, благодаря соединению с атмосферой полости Л после нажима на уплотняющее устройство кольцевого выступа 11 штока.В средней части рамы установлены цилиндры 12, поршни со штоками 13 которых взаимодействуют с бабой, а рабочие полости через обратные клапаны И ц 15 трубопроводом 1 б соединены с емкостями 17 для газа, а через обратные клапаны 18 ц 19 с рабочей камерой рамы. В трубопроводе установлены вентиль (засшрающее устройство) 20 и вент,ь 21.Высокоскоростной молот работает следующим образом, В исходном положении баба нахсдится вверху, а рама внизу, Рабочая камера предварительно заполняется...