Туловчиков

Номер патента: 443679

Опубликовано: 25.09.1974

Авторы: Зорин, Крузе, Павлов, Туловчиков, Шитова

МПК: B01J 17/32

Метки: газовой, диэлектрических, приготовления, слоев, смеси

...ПРЦГОТОВЛСППЮ ЦСООХОДП- мой смссп От Оыта 1; Опьту ц поддср 11;аня НУГКНЫХ Р 2 СХОДОБ ЕОМПОНСНТОВ Б КОДР ОДНОГО Опыт 2. В 2 риант, еОГд 2 смссь 011 эсделснногоусосгаз 2 Готов 5 т .Рц 32 П 1 аз,с Оалл 012, цмсст Весьма Огр 211 чсхнос пр.нспспцс, тае 121 с позволяет зсстп сц 1 РЗ лишь прц да;шом соотношении смеси. (роме ТОГО, БВ:ду разно 1 летучести ео.,:1 юпспты газозо 1 с 1 сс 1 Вь 1 тск 210 т цз ба;лое 2 с разлц" Н 01 сеоостью, 1 то у.ее через несколько часов паслс сго 32 разец прц- ВОДИТ Е ЗСР УСЛ:БаОП С 51 ЦЗ РСН:51:. П,СПСТВТКО У 1232 ННОГО С 110 С 002 ПРИГО ГОВЛРНЦЯ и подачи рабочей сз;ссц, В силу отмеченных не443679 Составитель В. Пополитов Редактор Т. Шагова Техред О. Гуменюк Корректор Л. Котова Заказ 7947 Изд. ЪЪ 414 Тираж...

Номер патента: 336727

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Павлов, Пашков, Туловчиков

МПК: H01L 21/38

Метки: hoteka, iпдтентй0-ш1, всесоюзная, не1ж15f, тух

...контейнера, образованного двумя коаксиально встав. ленными с зазором между стенками кварцевыми стаканами. Источник примеси помещен непосредственно на входе в рабочий объем, что позволяет подводить газовую фазу от источника к пластинам без промежуточного контакта ее с кварцевыми стенками. Однородность газовой фазы в рачочем объеме достигается за счет узкого (дцаметром до 1,5 лтлт) отверстия на входе в рабочий объем, где осу. ществляется интенсивное перемешцвацце газа. носителя.На чертеже схематически показан предлагаемый контейнер.Контейнер содержит внешний стакан 1, сваренный с подводящей;рубой 2, которая оканчивается узким отверстием 3. В конце подводящей трубы вплотную к отверстгпо 3 помещена лодочка 4 с источником примеси....