Патенты с меткой «не1ж15f»

Номер патента: 336727

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Павлов, Пашков, Туловчиков

МПК: H01L 21/38

Метки: hoteka, iпдтентй0-ш1, всесоюзная, не1ж15f, тух

...контейнера, образованного двумя коаксиально встав. ленными с зазором между стенками кварцевыми стаканами. Источник примеси помещен непосредственно на входе в рабочий объем, что позволяет подводить газовую фазу от источника к пластинам без промежуточного контакта ее с кварцевыми стенками. Однородность газовой фазы в рачочем объеме достигается за счет узкого (дцаметром до 1,5 лтлт) отверстия на входе в рабочий объем, где осу. ществляется интенсивное перемешцвацце газа. носителя.На чертеже схематически показан предлагаемый контейнер.Контейнер содержит внешний стакан 1, сваренный с подводящей;рубой 2, которая оканчивается узким отверстием 3. В конце подводящей трубы вплотную к отверстгпо 3 помещена лодочка 4 с источником примеси....