Всесоюзная iпдтентй0-ш1; не1ж15f. 4.; hoteka тух. “_„; . “: ,: ,

О Л И С А Н И Е 336727ИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республикисимое от авт, свидетельства-явлено 22.Ч,1969 (Ле 1334977/26-25) 1. Кл. Н, 01 Е 76 с присоединением заявки-Комитет по де риоритет -публиковано 21,Ч.1972. Бюллетень14ата опубликования описания 19.Л.1972 изобретении и открытипри Совете МинистровСССР ДК 621,382.003.3Авторы зобретени В. Павлов, В. И. Пашков и В, С. Т орьковскии исследовательскии изико-техническии ин явитель ЛЯ ДИФФУЗИОННО КОНТЕЙ ЕГИ РОВАН И теинера, что приводит к нев параметров легирования по стины.Для уменьшения влияния на воспроизводимость легир ют длительный предварител тейцера в парах примеси до нок, что, естественно, привод ным затратам материалов, мени. этих эфф ования испо ный отжиг насыщения т к дополцт энергии цектов льзч- коцсто тель вре.30 Изобретение относится к технике диффузионного легировация полупроводнцковы.,пластин из газовой фазы, широко используе.мой в технологии производства полупроводниковых приборов,5Известны контейнеры для диффузионноголегирования в виде запаянных ампул, квазизамкнутых боксов и прямоточцых труб, Материалом для изготовления контейнеров в боль.шинстве случаев служит кварцевое стекло. тОПри повышенных температурах кварц обладает свойством интенсивно поглощать легирующую примесь, особенно в случас окцслообразных диффузантов. Этим объясняется су.ществецный недостаток применяющихся в настоящее время контейнеров, заключающийсяв неконтролируемом обеднении газовой фазы,протекающей по контейнеру, Вторым недостатком известных контейнеров является не.однородность газовой фазы по объему коноспроизводимостцповерхности пла. Цель изобретения - разработка контейнс. ра, в котором газовая фаза, вводимая в рабочий объем, достаточно однородна и це обеднена за счет абсорбции примесей кварцем в процессе переноса от источника примеси к легируемым пластинам.Цель достигается использованием контейнера, образованного двумя коаксиально встав. ленными с зазором между стенками кварцевыми стаканами. Источник примеси помещен непосредственно на входе в рабочий объем, что позволяет подводить газовую фазу от источника к пластинам без промежуточного контакта ее с кварцевыми стенками. Однородность газовой фазы в рачочем объеме достигается за счет узкого (дцаметром до 1,5 лтлт) отверстия на входе в рабочий объем, где осу. ществляется интенсивное перемешцвацце газа. носителя.На чертеже схематически показан предлагаемый контейнер.Контейнер содержит внешний стакан 1, сваренный с подводящей;рубой 2, которая оканчивается узким отверстием 3. В конце подводящей трубы вплотную к отверстгпо 3 помещена лодочка 4 с источником примеси. Легпруемые пластины б с помощью кварцевого или кремниевого держателя, имеющего продольные прорези, помещены во внутренний стакан б, вставляемый в стакан 1 так, чтобт.т.НИИГ 111 Комитет Изд.585 Тираж 448 Подписное делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 ип. Харьк. фил. пред. Патент край его находился на линии узкого входного отверстия 3. Зазор между стенками стаканов 1 и б составляет 2 - 3 мл и служит для выхода газа-носителя в атмосферу. Размеры контейнера определяются параметрами рабо чей зоны печи.Контейнер, в который загружены пластины 5 и лодочка 4 с диффузантом, помещакп в рабочую зону печи. Газ-носитель, проходя над лодочкой, насыщается парами примеси. 1 О В узком отверстии 3 на входе в объем контейнера происходит интенсивное перемешива. ние газа, повышающее однородность газовой фазы. Сильная струя газавносителя, выходящая из отверстия, ударяет в дно внутреннего 5 стакана б и вызывает возникновение в объеме контейьера турбулентных завихрений, обтекающих пластины 5. В атмосферу газ выходит по зазору между внешним 1 и внутреьишм 6 стаканами, начинающемуся на линии вход. 20 ногО отверстия 3. Выбор размеров лодочки и скорости погока газа-носителя следует проводить в каждом конкретном случае. Предм ет изобретения Контейнер для диффузионного легирования, содержащий прямоточную трубу для подвода газа-носителя, источник примеси, рабочий объем с пластинами, отличающиася тем, что, с целью получения однородной газовой фазы в рабочем объеме, контейнер образован двумя коаксиально вставленными с зазором между стенками кварцевыми стаканами, во внутреннем из которых установлен держатель с пластинами, а в дне внешнего укреплена прямоточная труба, оканчивающаяся отверстием, обеспечивающим турбулентное втек а. ние газа-носителя в рабочий объем, причем источник примеси размещен в непосредственной близости от входного отверстия.