Способ приготовления газовой смеси для получения диэлектрических слоев

К АВТОРСКОМУ Свт.ДЕТЕ-ттЬС ВЗ 1) Завсцмое от авт. свидетельства2) Заявлено 12.05.71 (21) 1656163/23-2 51) М. 1(л. В 01 17/3 с присо инением заявки.- Государственнай комитет Совета Мкнистров СССР 32) Приорит Опубликован(088.8) о делам изобретени крыти опубликования описания 07.04.75 това, Е. И. Зорин, П. В. Павлов 2) Авторы изобретения Э ТулоВчикОВ и Т, А. 1(рузе(71) Заявитель Горьковский исследовательский физири Горьковском государственном универс(54) СПОСОБ ПРИГОТОВЛЕНИЯ ГАЗОВОЙ СМЕСИДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ДИЗЛЕКТР 11 "1 ЕС 1(ИХ СЛОЕВ Изобретение касается приготовления и подачи рабочей газовой смеси в установках для пиролитического получения различных диэлектрических слоев, в частности для пиролитического Осакденця слоев нитрида Рремния 5 из различных с.ессй .1 Оносилана и аммана(2 при низком вакууме.Известен способ приготозления газовой смеси для пиролитичсского получсния слоев питриД 2 кремния В пот 0103 Г 230 В сил 2 н 2 и ам миака, который заключается в независимом отборе компонентов с помощью дозируюцих кранов и установления необходимого соотношения их в смсси с по.ощью ротамстров.При этом исходные продукты находятся в 5 баллонах при значительных давлениях Р и Р. Подача соответствующих количеств для обееени нукпого ссааДИТСЯ ДОЗИРУ 0 ЦИ 1 КРаНВМИ, 2 Р 2 СХОД Газов контролируется соответствуощцми из:,:сри тельными ротаметрами. Пиролиз смеси ведут при давлении, близком к атмосферному. Регулированием соотношения потоков по рота- метрам создаот необходимое соотпошепцс компонентов в смеси. Сбычно это достаточно 25 большие потоки до 2000 ск/Иь. При указанном перепаде давлений типовая газовая ап:.аратура позволяе достаточно увсрс;Оролировать и осуществлять подау необходимои смеси ВЗОИУ рсакЦии, ОДнако поскольку 30 данный способ связан со значительным рас- ХОДОМ ВЗРЫВООПБСНЫХ и ЯДОВИТЫХ КОМ 10 НСН- тоз, оп не является экономичным и не цселю- ЧаРТ ВОЗЗОНСНОСТП ВЗРЫВ 2, ЧГО 32 ТРУДНЯРТ ЕГО ШИРОКОР ПЦМРНСНИС В 1,2 ЧЕСТВС ТРХНОЛОГИЧРСЕО О ПРОЦСССа Б ПОЛМПРОБСДЬП.ОБОМ ПРОЦЗ- водстве для папсссшя нптрцдных слоев. Прц осуцес;влен:и 1 рол тцчесеой реа;ццц полу- ЧРНЯ 11 ЧТР 1 ХБ В ЗаУУТР П"-32 НСЗП 2- чцтельньх еолцчсстз рсагенОз, необходимых ДЛя С:Теза ПЛСОЕ (ПрОЦРСС ЗРДСТСя ПО. Давлеш",1 -1, -мм рт. ст,), и осутствпя зодороДа Решен ВОПРОС ЭКОНО:ПЧНОСТП и ОСЗО 12 СНО- сти. Однако прц получении нптрцдпых слоевболшппсВССПРОЦЗЬОД 1 МОМУ ПРЦГОТОВЛСППЮ ЦСООХОДП- мой смссп От Оыта 1; Опьту ц поддср 11;аня НУГКНЫХ Р 2 СХОДОБ ЕОМПОНСНТОВ Б КОДР ОДНОГО Опыт 2. В 2 риант, еОГд 2 смссь 011 эсделснногоусосгаз 2 Готов 5 т .Рц 32 П 1 аз,с Оалл 012, цмсст Весьма Огр 211 чсхнос пр.нспспцс, тае 121 с позволяет зсстп сц 1 РЗ лишь прц да;шом соотношении смеси. (роме ТОГО, БВ:ду разно 1 летучести ео.,:1 юпспты газозо 1 с 1 сс 1 Вь 1 тск 210 т цз ба;лое 2 с разлц" Н 01 сеоостью, 1 то у.ее через несколько часов паслс сго 32 разец прц- ВОДИТ Е ЗСР УСЛ:БаОП С 51 ЦЗ РСН:51:. П,СПСТВТКО У 1232 ННОГО С 110 С 002 ПРИГО ГОВЛРНЦЯ и подачи рабочей сз;ссц, В силу отмеченных не443679 Составитель В. Пополитов Редактор Т. Шагова Техред О. Гуменюк Корректор Л. Котова Заказ 7947 Изд. ЪЪ 414 Тираж 651 Подписное ЦНИИПИ Государственного ко 11 птета Совета Министров СССР по дслагн изобрезенпй и открьггпй Москва, Ж.35, Раушская наб., д, 4/5Типография, пр. Сапунова, 2 достатков в данных вариантах не обеспечивается устойчивая подача рабочей силы в широком интервале рабочих давлений.Для повышения точности состава смеси и возможности его регулирования компоненты смеси из баллонов высокого давления подают в камеру смешения с давлением 1 атм, а затем - в реактор,Разработанный способ повышает точность состава смеси и поднимает воспроизводимость параметров, что обеспечивает его преимущество перед известным,Способ поясняется чертежом,П р и м е р. В хорошо откаченную через кран 1 камеру 2 предварительного смешивания с помощью дозирующих кранов 3 и 4 последовательно подают моносилан и разбавляющий аммиак. Пропорции при этом регистрируют по изменению показаний циферблатного вакуум- метра 5 с пределами 0 - 760 мм рт. ст. При этом в камере 2 создают необходимое количество газообразной смеси заданного состава при давлении смеси от 100 до 760 мм рт. ст. в зависимости от количества и длительности опытов, Одновременно происходит понижение высокого давления компонентов до близкого к атмосферному, что значительно уменьшает перепад давлений на дозирующем вентиле 6, ввиду чего при том же диапазоне изменения сечения отверстия натекания, он обеспечивает более плавное регулирование подачи смеси в рабочий объем.Установленный непосредственно на входе 5 чувствительный ламповый вакуумметр 5 исключает возможность толчка в начальный момент подачи смеси, что положительно сказывается на свойствах пленки в начальной стадии ее роста.10 С использованием разработанного способаприготовления и подачи смеси в установке для вакуумного пиролиза значительно подни.мается воспроизводимость параметров слоев при различных соотношениях компонентов 15 смеси и удается управлять скоростями ростанитридных слоев за счет вариации рабочего давления в пределах 10 вв : 1 мм рт. ст. Предмет изобретения 20Способ приготовления газовой смеси дляполучения диэлектрических слоев, включаю.щиц смешивание компонентов и подачу полученной смеси в вакуумированный реактор, 25 отличающийся тем, что, с целью повышения точности состава смеси и возможности его регулирования, компоненты смеси из баллона высокого давления подают в камеру смешения с давлением ( 1 атм, а затем - в реактор,