Тетерьвов
Линия для жидкостной химической обработки плоских изделий, преимущественно полупроводниковых пластин
Номер патента: 1526562
Опубликовано: 30.06.1994
Авторы: Гармаш, Нехамкин, Самойленко, Тетерьвов
МПК: H05K 3/06
Метки: жидкостной, линия, пластин, плоских, полупроводниковых, преимущественно, химической
1. ЛИНИЯ ДЛЯ ЖИДКОСТНОЙ ХИМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ ПЛОСКИХ ИЗДЕЛИЙ ПРЕИМУЩЕСТВЕННО ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН, содержащая каркас, последовательно установленные рабочие ванны, поворотные носители изделий с вертикальным размещением посадочных гнезд для изделий, средства перемещения носителей и средства их вращения в виде валков, горизонтально установленных под носителями в ваннах, приводы валков, отличающаяся тем, что, с целью повышения качества обработки, поворотные носители снабжены П-образным держателем и выполнены в виде ротора с торцовыми зубчатыми дисками, центральным валом и обоймами, размещенными равномерно по периферии ротора, при этом каждая обойма выполнена с окнами на боковой поверхности и внутренней продольной полостью со средствами...
Двухкоординатный стол
Номер патента: 1526508
Опубликовано: 30.06.1994
Авторы: Горлов, Кальянов, Тетерьвов
МПК: H01L 21/00
Метки: двухкоординатный, стол
1. ДВУХКООРДИНАТНЫЙ СТОЛ, содержащий основание, продольную каретку с направляющими, закрепленными на основании, поперечную каретку с направляющими, закрепленными на продольной каретке, шаговые приводы продольной и поперечной кареток, выполненные в виде пневмо- или гидроцилиндров с подвижными в осевом направлении ползунами с установленными в них с возможностью поперечного перемещения поводковыми штырями, и шаговые рейки продольной и поперечной подач, неподвижно закрепленные на каретках, отличающийся тем, что, с целью расширения эксплуатационных возможностей, он снабжен дополнительным приводом в виде пневмо- или гидроцилиндра с ограничителями его хода, при этом шток дополнительного привода совмещен со штоком основного привода продольной...
Устройство для изготовления фаски на круглых пластинах
Номер патента: 1123474
Опубликовано: 15.06.1994
Авторы: Власов, Гопкало, Самойленко, Тетерьвов
МПК: H01L 21/304
Метки: круглых, пластинах, фаски
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФАСКИ НА КРУГЛЫХ ПЛАСТИНАХ, содержащее притир, имеющий возможность вращаться вокруг своей оси, головку с наклонными цилиндрическими отверстиями, стальные цилиндрические держатели обрабатываемых пластин, имеющие возможность входить в отверстия головки, и привод вращения держателей, отличающееся тем, что, с целью повышения качества обработки, каждое цилиндрическое отверстие снабжено подвижной немагнитной втулкой, соосно с которой в верхней и нижней частях головки установлены электромагниты.
Установка для получения стекловидного гидроокисного материала из многокомпонентного раствора, преимущественно для защиты полупроводниковых приборов
Номер патента: 1578901
Опубликовано: 07.09.1991
Авторы: Бротиковский, Воскресенский, Самойленко, Тетерьвов
МПК: B01F 13/10
Метки: гидроокисного, защиты, многокомпонентного, полупроводниковых, преимущественно, приборов, раствора, стекловидного
...лереьГешивании их в сосудах выемки бака-сборника 5 из термокамерыи 2 и емкости 3 до наступления прозс целью выгрузки конечного продукта", рачности, т.е. наступления равновесия стекловидного порошка, Крдцы 1 О Уста-сртоэтилсиликата и кремниевой кислоты цовлены ца трубопроводах. На откидной, 25 в смешанном растворе, содержащем ионы крышке 11 бака-сборника 5 установле- свинца и:агюминия. После проведения на камера 12 смешения реактивов в виде перечисленных операций производят перевернутого стакана. Накопитель 13 , слияние растворов иэ емкости 3 и 4 в промывочной жидкости сообщен с поддо".камеру 12 смешения для проведения юм 7. Жосуды ф 2.ф и 3 ф 4 и30 стехиометрической реакцииф при это бак-накопитель 5 снабжены лопастными , через...
Клапан вибронасоса
Номер патента: 1465625
Опубликовано: 15.03.1989
Авторы: Власов, Самойленко, Стрыжак, Тетерьвов
МПК: F04F 7/00
Метки: вибронасоса, клапан
...по изобретениям и открытиям при ГКНТ СС 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 нно-издательский комбинат "Патент", г,ужгород, ул. Гагарина,301 роизво Изобретение относится к насосостроению и может быть использовано в вибрационных насосах. Цель изобретения - повышение КПД5 и производительности путем улучшения гидродинамики клапана.На фиг.1 изображен клапан,вибронасоса, продольный разрез на фиг.2 - сечение А-А на фиг.1; на фиг,З - 10 сечение Б-Б на фиг.2.Клапан вибронасоса содержит седо 1, установленное на заборной трубе 2, запорный элемент в виде диска ,Э с цилиндрической поверхностью 4 и с радиальными выступами 5, посредством которых запорный элемент установлен в седле 1 с возможностью осевого перемещения, и ограничитель 6 подъема...
Автомат для лужения
Номер патента: 1260126
Опубликовано: 30.09.1986
Авторы: Гармаш, Морозов, Нехамкин, Тетерьвов
МПК: B23K 3/06
...или проволоки, фиксирующий конечное положение в лотке приборов 4, За загрузочным устройством 5 по ходу техпроцесса размещены подъемные устройства флюсования 7 (фиг.1 и 2), выводов приборов и лужения 8, ванна 9 мойки приборов (фиг,2 и 5), снабженная на выходе поперечными перегородками 10 для сбрасывания с приборов моющей жидкости за счет со ударения их с последними, Сбрасыватель 11 приборов (фиг,2 и 4) выполнен в виде двузубой пружинной вилки, неподвижно установленной по касательной к окружности стола с небольшим 40 зазором. Под сбрасывателем в станине 1 выполнено окно 12 (фиг,2) для падения приборов в камеру 13 их сушки (фиг.1), За сбрасывателем приборов установлен утапливатель 14, с рабочейповерхностью которого контактируютзахваты 3...
Способ дозирования жидкостей
Номер патента: 1136019
Опубликовано: 23.01.1985
Авторы: Гармаш, Миненок, Тетерьвов
МПК: G01F 13/00
Метки: дозирования, жидкостей
...является его 10инерционность. Наиболее близким кпредлагаемому по технической сущности и достигаемому результатуявляется капельный способ дозирования жидкостей, заключающийся впе-, 15. рекачке жидкости, осуществляемой воздействием на эластичный элемент сдоэируемой жидкостью пережимающимиэлементами 2.Недостатком известного способа ;рявляется его инерционность при выдавливании капли,Цель изобретения - снижение инерционности дозирования.Поставленная цель достигаетсятем, что согласно способу дозиро-,вания жидкостей, заключающемуся ввоздействии на эластичный трубчатыйэлемент с дозируемой жидкостью, вэластичном трубчатом элементе с дозируемой жидкостью возбуждают продольную волну гидроудара поперечным иьнульсным воздействием на...
Устройство для струйной обработки пластин
Номер патента: 828263
Опубликовано: 07.05.1981
Авторы: Гершович, Тетерьвов, Шеларь
МПК: H01L 21/00
...распределены по радиусной траектории движения пластин, обеспечивая последовательную обработку всей поверхности пластин 4.Во время обработки пластин и при дальнейшем движении их вверх после выхода из зоны гидроабразивной обработки суспензия стекает с пластин обратно в ванну 8, т. е. используется многократно.Далее ячейки с пластинами поступают в зону струйной промывки промывочного блока 9, отделенную от гидроабразивной зоны Ч-образным выступом в одной из стенок камеры 1.Во время струйной промывки пластин и при дальнейшем движении их вверх после выхода из зоны промывки отработанная вода падает вниз и удаляется через сливное отверстие под промывочным блоком 9,При дальнейшем движении вверх ячейки с изделиями поступают в выходную щель 10...
Устройство для очистки деталей
Номер патента: 562885
Опубликовано: 25.06.1977
Авторы: Бобылев, Тетерьвов
МПК: H01L 21/98
...18 передает крутящий моментполумуфте 15 и, таким образом, поворачиваетротор, перенося летали в первую зону обработки в горячем травителе в ванне 2 (см.фиг, 1). В это время электромагнит 17 (см.фиг. 2) выключен, упор 9 выдвинут и ротор8 поворачивается на /з окружности до встречи с упором 9.Так как вал 12 с полумуфтой 13 продолжает, вращаться, то полумуфта 13, взаимодействуя своими пазами с шариками полумуфты 15, сообщает ротору 8 с изделиями возвратно-поступательные колебания ударного характера. По истечении времени обработки в горячем растворителе подается элвктричеокий импульс на электромагнит 17, который, воздействуя на упор 9, отодвигает его. Ротор 8, как уже было описано выше, поворачивается, перенося кассету с обрабатываемыми...