Установка для получения стекловидного гидроокисного материала из многокомпонентного раствора, преимущественно для защиты полупроводниковых приборов

сОюэ сОВетснихСОЦИАЛИСТИЧЕСНИХРЕСПУБЛИК 9) 51)5 В 01 Р 13/О ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ЛО иэОБРетекиям и ИТЕТРЫТЫМ ТЕНИЙо епени его гомогениени и счеэа ции.На фиг. 1 изоб общий вид; на фиг фиг. 1; на фиг. 3 вид сверху,Установка для ного гидроокисног порошка из многок ра, преимуществен становка ел 1 на раже 2мещения камер ТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТ(7 1) Всесоюзный научно"исследовательский, проектно"конструктовский и технологический институт силовых и полупроводниковых устройств(56) Авторское свидетельство СССР В 715460, кл. С 01 В 33/12, 1977.Авторское свидетельство СССР В 873825, кл. Н 01 . 21/50, 1980. (54) УСТАНОВКА ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ СТЕКЛОВИДНОГО ГИДРООКИСНОГО МАТЕРИАЛА ИЗ МНОГОКОМПОНЕНТНОГО РАСТВОРА, ПРЕИМУЩЕСТВЕННО ДЛЯ ЗАЩИТЫ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ(57) Изобретение относится к аппаратурному оформлению процессов получения защитных покрытий полупроводниковых приборов от воздействия окружающей среды. Оно обеспечивает улучшение качества готового продукта за счет иИ зобретение относится к аппаратур"му оформлению производства стеклоных низкотемпературных материалов для защитного покрытия изделий от воздействия .окружающей среды и проникновения влаги, преимущественно .кремниевых структур силовых полупро.водниковых приборов.Целью изобретения является улучшение качества готового продукта эа вышения степени его гомогенизации. Установка для получения стекловидного гидроокисного материала иэ многокомпонентного раствора содержит каркас,на котором смонтированы сосуды 1, 2, емкости 3, 4 с лопастными мешалками 14. Камера 12 предназначена для смешения реактивов из сосудов 1 и 2. Камера 12 выполенна в виде перевернутого стакана, в полости которого наклонно установлены два капиллярных наконечника соответственно под угломо о 20-25 и 10" 15, диаметром 1,5-2 мм, при этом противоположная им стенка камеры 2 выполнена плоской вертикаль" ной и внизу снабжена уступом шириной 5-6 мм. Камера 12 размещена на крьппке 11 бака-сборника 5, которая установлена с возможностью откидывания, а бак-сборник установлен с воэможностью его перемещения.по рольгангу 6 в термокамеру 8,для выпаривания геля до порошкообразного состояния, Мешалка 14 в баке-сборнике размещена под ус" тупом камеры смешения. 4 з.п. ф-лы, 3 получения стеклонндо материала. и видеомпонентного раетноно для защиты полу 1 э 7890пр 1 годццкогп.гх приборов, состоит из Установка работает следующим обкцркаса (це показан) ца котором смон" разом.гцроцлцы сйсуд 1 (смфиг. 1) для В сосуде 1 предварительно готовят црсдццрцтельцого получения доэнрован-. . дозированный раствор азотнокислых5ного раствора азотнокислых алюминие- солей алюмийия и свинца в деионнзиро" вьгх и свинцовых солей в деиониэирован- ванной воде, в сосуде 2 готовят дози" цой воде, сосуд 2 для .получения дози- рованцый спиртовый раствор этиЛового роваццого спиртового раствора этилово- . эфира ортокремниевой кислоты-тетраго эфира ортокремниевой кислоты - тетэтоксисилаца. В емкости 4 получают до" раэтоксисилана, емкость 3 для их сме- эированный водный раствор аммиака за" щецин, емкость 4 для получения дози- данной концентрации, При этом все роцаццого водного раствора аммиака. вьянеперечислецные растворы получаюс использованием динамического смешиУстацовка содержит бак-сборник 5 15 вания лопастными мешалками. Затем в длц окончательного получения геля, емкости 3 проводят гидролиэ путем ггеремещающийся по рольгангу 6, поддон . сливания в него раствора аэотнокислых 7 для истечения промывочной жидкости солей алюминия и свинца из сосуда геля и термокамеру 8 для выпаривания 1 и спиртового раствора тетраэтоксиостаточной промывочной жидкости из2 О силана из сосуда 2 при одновременном геля, снабженную заслонкой 9 для. активном лереьГешивании их в сосудах выемки бака-сборника 5 из термокамерыи 2 и емкости 3 до наступления прозс целью выгрузки конечного продукта", рачности, т.е. наступления равновесия стекловидного порошка, Крдцы 1 О Уста-сртоэтилсиликата и кремниевой кислоты цовлены ца трубопроводах. На откидной, 25 в смешанном растворе, содержащем ионы крышке 11 бака-сборника 5 установле- свинца и:агюминия. После проведения на камера 12 смешения реактивов в виде перечисленных операций производят перевернутого стакана. Накопитель 13 , слияние растворов иэ емкости 3 и 4 в промывочной жидкости сообщен с поддо".камеру 12 смешения для проведения юм 7. Жосуды ф 2.ф и 3 ф 4 и30 стехиометрической реакцииф при это бак-накопитель 5 снабжены лопастными , через наконечник 16 на стенку 15 по" мешалками 14. Камера 12 смешения име- дают раствор иэ емкости 4, а через ет плоскую вертикальную стенку 15 ю.на наконечник 17 - из емкости 3. .которую направлены капиллярные како" - Из камеры 12 образовавшийся в рецечцики 16 и 17. Наконечник 6 с дМа-эультате.Редакции гель и неэначитель 35метром капиллярного канала равным ная часть непрореагировавших раство 1,5 - 2 мм, установлен наклонно к го" ров подается в бак-сборник 5, где для ризонтали, под углом х = 20-25 и : получения последней фазы геля смесь предназначен для подачи раствоРа из подвергают динамическому перемешиваемкости 4. Наконечник 17 с диаметромО нию лопастной мешалкой 14. Полученныйкапиллярного канала, равным ф 5-2 ммф. гель отстаивают в баке-сборнике 5,установлен наклонно к горизонтали ; промывают деиониэированной водой, втоопод Углом = 10-15 и предназначен рично отстаивают для удаления промыдля подачи раствора под давлением . вочной жидкости (воды и,солей аммо 0,2 ати иэ емкости З,.Камера 12 смеше-, ния) в накопитель 13, после чего бакния реактивов снабжена. уступом 18 ф сборник 5 с гелем подают в термокамерасйоложенцым по отношению к верти- ру 8 где гель выпаривают до получеоЭкалькой стенке под углам"-90-105 .ния конечного продукта - порошкооб- . . и имеющим длину уклона 5-6 мм. Уступ разноговещества.18 предназначен для "подпора (притормаживания) жидкости, стекаемой по , ф о р м У л а и э о б р. е т е н и я стенке 15. При этом капиллярные наконечники 16 и 17 установлены с воэмож" , 1. Установка для получения стеклоностью изменения расстоянни расстояния до верти- видного гидроокисного материала иэ кальной стенки в интервале 10 - 15 мм. . многокомпонентного раствора, преимуБоковые грани 19 камеры 12 смешения 55 щественно для защиты йолупроводникоограничивают пленочный поток растворавьа приборов, содержащая сосуды спо стенке 15. Мешалка 14 в баке-сбор- ггешалками для приготовления водных дике 5 расположена под уступом 18. растворов аэотнокислых солей стеклооб.5 15 раэующих элементов, спиртового раствора тетраэтоксисилана, емкость для их смешения, емкость для приготовления водного раствора аммиака бак 1 сборник с мешалкой и термокамеру, о т л и ч а ю щ а я с я тем, что, с целью улучшения качества готового продукта эа счет повышения степени его гомогенизации, установка снабженакамерой смешения, выполненной в виде перевернутого стакана, установленного на крышке бака-сборника и сообщенного в нижней части с,последним, камера смешения снабжена капиллярными наконечниками, один иэ которых"соединен с емкостью для приготовления водного раствора аммиака, а другой - с емкостью для смешения, при этомстенка камеры смешения, на которую направлены капиллярные наконечники, выполнена плоской, вертикальной, с уступом в нижней части, а мешалка бака-сборника размещена под уступом, бак-сборник установлен с возможностью 8901перемещения в термокамеру, например,с помощью рольганга.2. Установка по п. 1, о т л и "ч а ю щ а я с я тем, что диаметркапиллярных наконечников равен1,5 - 2 мм.3. Установка по пп. 1,2, о т л и ч а ю щ а я с я тем, что капиллярныенаконечники установлены с возможностью изменения расстояния до плоской стенки в интервале 10-15 мм.4. Установка по п." З,.о т л и ч а ю щ а я с я тем, что верхнийкапиллярный наконечник наклонен К го ризонтали под углом 20-25, , нижний под углом 10-155. Установка по и. 1, о т ли."ч а ю щ а я с я тем, ч 1 о уступ камеры смешения расположен по отношениюк плоской стенке под углом 90-105 и25 составляет 5-б мм.1578901 став в ре ява раж стввцыг 11303ГКНТ СЧСР комите М. с квв ям5 инат "Патент" редактор М. 3 ок 3 вквз 374 й 5 ЯПП Госуд онэвсЛственно-нэввтевьс кий ко ель Т, Круглова