Тамулевичюс

Номер патента: 1651174

Опубликовано: 23.05.1991

Авторы: Будинавичюс, Пранявичюс, Тамулевичюс

МПК: G01N 23/227

Метки: анализа, пленок, послойного, тонких

...следующим образом.Послойный Оже-анализ двухслойной структуры А 9-Я производят в вакуумной камере при давлении остаточных газов 10 Па.-8 Облучение исследуемого образца пучком ионов, пучком электронов и регистрацию Оже-электронов осуществляют при помощи серийного Оже-анализатора, Облучение электронами производят с энергией 11 кэВ, Одновременно с регистрацией Оже-электронов производят регистрацию характеристического рентгеновского излучения с помощью пропорционального счетчика и1651174 Формула изоб ретения Составитель К,КононоТехред М.Моргентал Корректор О,Ципле едактор О.Голо каз 1603 Тираж 411 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СС113035, Москва, Ж, Раушская наб 4/5-издательский комбинат...

Номер патента: 1599735

Опубликовано: 15.10.1990

Авторы: Будинавичюс, Пранявичюс, Тамулевичюс

МПК: G01N 23/227

Метки: оже-анализа, послойного, состава, твердых, тел, химического

...текущей координаты по глубине.Способ осуществляется следующим образом.На исследуемый образец направляют пучок электронов и регистр руюи т бжеспектры. Послойное распыление осу; ществляют с помощью ионного пучка, .энергию которого периодически меняют частности контролю химического состава твердых тел как на его поверхности, так и в глубинных слоях, Цель изобретения - увеличение точности измерения текущей координаты по глубине, Способ послойного Оже-анализа химического состава твердых тел основан на анализе энергий и количестве Оже-электронов, излучаемых твердым телом при облучении его пучком уско,ренных электронов, и послойном распылении ионным пучком, Распыление осуществляется ионным пучком, энер гия которого периодически меняется...

Номер патента: 886044

Опубликовано: 30.11.1981

Авторы: Билюс, Зубаускас, Пранявичюс, Пустовит, Тамулевичюс

МПК: G11B 5/42

Метки: головки, магнитной, поверхности, рабочей

...головки включает бом- ми В,бардировку этой поверхности в вакууме П р и м е р. Обрабатываемую магнитпучком электрически активных примесных ную головку помещают в приемную камеионов, причем внедрение элекфически ру установки ионного легирования. На пьактивных примесных ионов проводят до- Ю верхность головки внедряют ионы фосфозами. о 10 до 5 10 см с энергией .ра Р с энергией 50-00 кэВ и дой 18 31 фв диапазоне от 50 до 400 кэВ при од- зах этих ионов Ф = 5 10 см Из доновременном осаждении на рабочую по-, пслнительного ионного источника 3 наверхность распыленного пермаллоя со правляют на пермаллоевую мишень потокскоростью, равной скорости распыления З ионов неона фН с энергией 3 кэВ и, внедряемых примесных ионов. плотностью ионного тока 2...

Номер патента: 864399

Опубликовано: 15.09.1981

Авторы: Куприс, Стонис, Тамулевичюс

МПК: H02G 1/02

Метки: проводов, смазки, тросов

...н тросов, общийвид; на Фиг.2 - вид А на Фиг,1, наФиг,3 - сечение Б-Б на фиг,1,Устройство выполнено в виде корпуса 1 с крышкой 2, заполненного смазкой. В корпусе 1 помещен нижний смаэывающий ролик 3, установленный наплаваюцей оси 4 с пружинами 5. Верхний несущий и смазывающий ролик б,с углублением закреплен над корпусом1 посредством откидного устройства 7при помощи Фиксатора 8. На верхнейчасти корпуса 1 размещены направляю Ощие ролики 9, предохранительные петли 10 и тяга 11 для передвижения устройства, Смазывающие ролики 3 и бпокрыты материалом, абсорбирующимсмазку, 15Устройство работает следующим образом.Предохранительные петли 10 и фиксатор 8 освобождаются, а верхний ролик б через откидное устройство 7 20поворачивается в...