Способ обработки рабочей поверхности магнитной головки

ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветскихСоцивпистическихРеспублик(23) Приоритетб 11 В 5/42 Рвударежнньй кееппет СССР но делам нзебретеннй.и втнрцтнв,11.81. Бюллет К 5 З 4.8 ( 088.8) Дата опубликования описа и 30,11ов 71) Занвител итехнический инс ауна Ку 54) СП ОБРАБОТКИ РАБО НИТНОЙ ГОЛОВКИ ОБЕ РХНОС иборостро агнитной тны такжоверхно Изве бочей включ щие обра е путем ементов вакуум онов э рабочей их доокой издом ка- поверхт магниОднако известный способ обрабо рабочей поверхности износостойкос увеличивает недостаточно, Это главн образом, связано с тем, что при бсаь 10 дозах ионного внедрения (практическ уже при ф5 10 В о 4)проявляетс эффект распыления внедряемыми ион В связи с этим явлением нельзя до сколь угодно больших концентраций ренных примесей; так как устанавли ся стационарный насыщенный режим котором количество внедренных прим ных атомов становится равным коли ву распыленных с обрабатываемой п 1 о ности атомов С другой стороны, пр распыления рабочей поверхности нед тим с технологической точки зрения как уменьшает ее толщину.тки ь ым их ами. стичь лектр износ внед ваетесчестове ак Изобретение относится к прению, в частности к технике мзаписи, и может быть исполвзовтехнологии изготовления магнитнловок,Известны способы обработкиповерхности магнитных головок,ванные на нанесении на нее тонкпопнительных слоев с бсаее высносостойкостью, Например, метотодного распыления на рабочуюность магнитной головки нанося томягкий сплав алфесил 1 или э олитическим осаждением наносят Офстойкий слой, содержащий частицы магнетика или феррита 2Однако вышеуказанные способы обработки рабочей поверхности недостаточно эффективны, В процессе эксплуатации нанесенные на магнитную головку покрытии отслаиваются и крошатся, тем самым не обеспечивая их необходимых механичес - ких параметров,е способы обработки ти магнитных головок отку этой поверхностибомбардировки пучкомнасыщения 3Увеличение износостокости, раз Энергия ионов 5,106200 200 400 400 400 400 400 1, 5,10 8 5:10 Ь1017 5 -10"7108 1 0 Щ 5 г3 886044Цель изобретения - получение более тивных примесных ионов фосфора на червысокой степенй износостойкости маг- теже показано стрелками А, направлениенитной головкне распыленного пермаллоя 2 стрелкамиПоставленная цель достигается тем, Б, направление пучка ионов, распыляю- .что способ обработки рабочей поверх-щего пермаллоевую мишень - стрелка-,ности магнитной головки включает бом- ми В,бардировку этой поверхности в вакууме П р и м е р. Обрабатываемую магнитпучком электрически активных примесных ную головку помещают в приемную камеионов, причем внедрение элекфически ру установки ионного легирования. На пьактивных примесных ионов проводят до- Ю верхность головки внедряют ионы фосфозами. о 10 до 5 10 см с энергией .ра Р с энергией 50-00 кэВ и дой 18 31 фв диапазоне от 50 до 400 кэВ при од- зах этих ионов Ф = 5 10 см Из доновременном осаждении на рабочую по-, пслнительного ионного источника 3 наверхность распыленного пермаллоя со правляют на пермаллоевую мишень потокскоростью, равной скорости распыления З ионов неона фН с энергией 3 кэВ и, внедряемых примесных ионов. плотностью ионного тока 2 мкА/см,Таким образом, осаждение тонкого которые ударяясь об нее, распыляют ееслоя пермаллоя со скоростью осаждениями Во время легирования компенсация расравной скорости распыления рабочей по- пыления рабочей поверхности магнитнойверхности магнитной гоповки внелряемы- Е головки проводится путем осаждения нами примесными ионами, компенсируют ее рабочую поверхность пермаллоя.процесс распыления и позволяет достивнуть сколь угодно большие концентрации Рассояние от рабочей поверхностивнедренных примесных атомов, тем са-магнитной головки до пермаллоевой мимым получать износостойкие,соединенияшени устанавливают равным 4 см, а дона рабочих поверхностях магнитных го,. дополнительного ионного источника 2,5ловок сме причем дополнительный ионный исНа чертеже представлено устройство, точник устанавливают под углом 65 ф пореализующее предлагаемый способ.отношенщо нормали к поверхности расУстройство содержит рабочую поверх- пыляемого пермаллоя.ность 1 магнижой головки, пермаллоевую Износостойкость магнитных головокмишень 2 и дополнительный ионный но- в зависимосги от режимов легированияточник 3. Направление электрически ак- представлена в таблице,886044 Ьизносостойкости магнитной головки, внедренйе электрически активных примесныхионов в рабочую поверхность головки пръводят д зами 5.10 йдо 5.1 омсм-хсф энергией от 50 до 400 кэВ при одновременном осаждении на нее распыленного пермаллоя, равной скорости распыления внедряемых примесных ионов.Источники информации,Ф принятые во внимание при экспертизе1, Патент США % 3566045,кл. 3 11 В 5/22, 1971.2; Патент США % 3737483,кл. Я 11 В 5/40, С 23 С 3/02, 1973,153. Авторское свидетельство СССР(прототип). лбашо Составител Техред Е. Харитончи дак тор чинск Подписное Заказ 1 66/80 Тираж 648 ВНИИПИ Государственного ком по делам изобретений и отк 113035, Москва, Ж, Раушта СССтий кая наб., 4/ лиал ГИ 1 Г 1 "Патент", г, Ужгород, ул, Проектная, 4 Использование предлагаемого способ. обеспечивает по сравнению с известными при сравнимых дозах внедрения значительно большую износостойкость рабочей поверхности магнитных головок, что позволяет значительно повысить их долговечн ость,Формула изобретения Способ обработки рабочей поверхности магнитной головки, включающий бомбардировку поверхности в вакууме пучком электрически активных примесных ионов, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью получения более высокой степени Корректор У, По номаренко