Будинавичюс

Номер патента: 1651174

Опубликовано: 23.05.1991

Авторы: Будинавичюс, Пранявичюс, Тамулевичюс

МПК: G01N 23/227

Метки: анализа, пленок, послойного, тонких

...следующим образом.Послойный Оже-анализ двухслойной структуры А 9-Я производят в вакуумной камере при давлении остаточных газов 10 Па.-8 Облучение исследуемого образца пучком ионов, пучком электронов и регистрацию Оже-электронов осуществляют при помощи серийного Оже-анализатора, Облучение электронами производят с энергией 11 кэВ, Одновременно с регистрацией Оже-электронов производят регистрацию характеристического рентгеновского излучения с помощью пропорционального счетчика и1651174 Формула изоб ретения Составитель К,КононоТехред М.Моргентал Корректор О,Ципле едактор О.Голо каз 1603 Тираж 411 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СС113035, Москва, Ж, Раушская наб 4/5-издательский комбинат...

Номер патента: 1599735

Опубликовано: 15.10.1990

Авторы: Будинавичюс, Пранявичюс, Тамулевичюс

МПК: G01N 23/227

Метки: оже-анализа, послойного, состава, твердых, тел, химического

...текущей координаты по глубине.Способ осуществляется следующим образом.На исследуемый образец направляют пучок электронов и регистр руюи т бжеспектры. Послойное распыление осу; ществляют с помощью ионного пучка, .энергию которого периодически меняют частности контролю химического состава твердых тел как на его поверхности, так и в глубинных слоях, Цель изобретения - увеличение точности измерения текущей координаты по глубине, Способ послойного Оже-анализа химического состава твердых тел основан на анализе энергий и количестве Оже-электронов, излучаемых твердым телом при облучении его пучком уско,ренных электронов, и послойном распылении ионным пучком, Распыление осуществляется ионным пучком, энер гия которого периодически меняется...