Патенты с меткой «оже-анализа»

Номер патента: 1599735

Опубликовано: 15.10.1990

Авторы: Будинавичюс, Пранявичюс, Тамулевичюс

МПК: G01N 23/227

Метки: оже-анализа, послойного, состава, твердых, тел, химического

...текущей координаты по глубине.Способ осуществляется следующим образом.На исследуемый образец направляют пучок электронов и регистр руюи т бжеспектры. Послойное распыление осу; ществляют с помощью ионного пучка, .энергию которого периодически меняют частности контролю химического состава твердых тел как на его поверхности, так и в глубинных слоях, Цель изобретения - увеличение точности измерения текущей координаты по глубине, Способ послойного Оже-анализа химического состава твердых тел основан на анализе энергий и количестве Оже-электронов, излучаемых твердым телом при облучении его пучком уско,ренных электронов, и послойном распылении ионным пучком, Распыление осуществляется ионным пучком, энер гия которого периодически меняется...