Патенты с меткой «планаризующего»

Номер патента: 1667567

Опубликовано: 20.01.2008

Авторы: Гранько, Солонинко, Турцевич, Чигирь

МПК: H01L 21/66

Метки: диэлектрика, оплавления, планаризующего, степени, структура

Структура для контроля степени оплавления планаризующего диэлектрика при изготовлении интегральных схем, включающая полупроводниковую подложку со сформированными на ней параллельными токопроводящими дорожками с трапецеидальным сечением и углом между нижним основанием трапеции и боковой стороной не менее 45°, покрытых слоем планаризующего диэлектрика, отличающаяся тем, что, с целью обеспечения возможности неразрушающего контроля и разбраковки пластин, токопроводящие дорожки шириной b расположены на расстоянии a i на полувысоте микрорельефа, и выполнены высотой h, удовлетворяющих условию ai=(1+k)·a i-1, aмакс