Способ измерения размеров тестовых элементов рисунка фотошаблонов

) Дополнительное к ав ) Заявлено 04.08,77 (2 свил Ву25 14818/18-26 с присоединением заявки ГЪ ударвтааие кон СССР9,Бюллетень описания 28. та опубликовани Шан Б Н; Котлщо адимиров, Л, И, Савин, Я, и 0, Г, Туркевич(54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ЭЛЕМЕНТОВ РИСУНК ЗМЕГ ОВ Т:СТОВБХОТО К А Б й ОНОВ зобретенце относится к к роль быть измерцтельнои техн ке и мож ости дл мерения нк т ри рисун в раз тром использовано в части , я изразмеров тестовых элементов рису афотошаблонон,Известен способ измерения раз церовтестовых эйс ецГОВ рисунка фотошаблсьнов, закчючаюши 1 Гся в том, что освещаюсунок фотошаблонв. Когерентным светом, формцруГОт спектр, соотвотствуюший преобразованию Фурье от элементовка, и измеряют световую энергиюличных частях спектра, по которойсудят о размере элементов(11,В известном способе осуществляютфильтрацию спектра полосовым фильпространственных частот.Однако для достижения требуемойточности фильтр должен изготавливаться с точностью 0,5-1 мкм, что чрезвычайно трудно, кроме того, максимальная точность контрогя достигается втом случае когда фильтр поглощаеточень много энергии (до 99,5-999%) прошедшей через контролируемый элемент, что не позволяет осуществить измерение элементов размером в 1-2 мкм,Таким образом известный способ необеспечивает высокую точность измерения,Йпя цовъш нця точности измеренияэлементы рисунка выбирают в виде нериои:-:есной Г ОсГе донате пьн ости прямоугольфных щелей, имеющих форму меандра,а размер элементов определяют ло соотношению энергии в нулевом и второмпорядках спектра.На фиг. 1 дана оптическая схемаустройства, реализующего предлагаемыйспособ; на фиг. 2 показан вцд тестовогоэлемента рисунка; на фцг. 3 показанораспределение интенсивности света вфокальной плоскости,Устройство содержит когерентныйисточник света 1, который освещаетконтролцруеый фГтошаблон 2 с тестовым элементом рисунка 3, объектив4 преобразования Фурье который вУ8 ГЯ Е4 Яввуйнваа 1 рвидьт плвстщ Составитепь ЛобзоваРедактор Т, Шагова Техред 3.Фанта Корректор С. Шекмар Заказ 8009/38 Тираж, 865НИИПИ Государственного комипо делам изобрете113035, Москва, Ж,Подписноета СССРий и открытийаушская наб филиал ППП фПатентд, г, Ужгород, уп, Проектна своей задней фокальной плоскости 5формирует распределение света, точ но соответствующее преобра зованиюфурье от рисунка. В этой плоскостиустановлены прямоугольные щели 6, вырезающие из пространственного спектрасветовые потоки в разных порядкахспектра. Фотоумножители 7, регистрируютзначения энергии в этих порядках, которые затем усиливаются и подаются нарегистрирующий прибор 8,Осуществляется предлагаемый способследующим образом,Тестовый элемент рисунка (см. фиг, 2) 15 представляет собой поснедоватепьность прямоугольных щелей, имеющих форму меандра, т, е. ширина каждой прозрачной области Ь равна ширине, соответ-. ствующей непрозрачной области, В этом случае интенсивность во 2-ом порядке спектра будет равна 0 (см, фиг. 3).В случае же, когда по каким-либо причинам вид тестового элемента рисунка уклоняется от формы меандра (например, при перетраве ипи недотраве хромовой ппенки в процессе изготовления фотошаблона), интенсивность во 2-ом порядке спектра будет отлична от нуля а,"сравнивая значения световыхэнергий, ЗО измеренных в 0-ом и 2-ом порядках спектраможно онредепить отклонение геометрии тестового элемента рисунка от номинальной формы меандра.Предлагаемый способ обеспечивает высокую точность измерения микронных и субмикронных размеров, прост в реализации,Формула изобретения Способ измерения размеров тестовых элементов рисунка фотошабпонов, заключающийсятом, что освещают рисунок фотошаблона когерентным светом, формируют спектр, соответствующий преобразованию Фурье от элементов рисунка, и измеряют световую энергию в различных частях спектра, по которой судят Ь размере элементов, о т и и ч а ющ и й с я тем, что, с цепью повышения точности измерения, элементы рисунка выбирают в виде периодической последовательности прямоугольных щелей, имеющих форму меандра, а размер элементов определяют по соотношению энер-ии в нулевом и втором порядках спектра. Источники информации, принятые вовнимание при экспертизе1. Патент США %3746455,кп. 356-69, 17.07,73,3