Устройство для равномерного освещения объекта

Номер патента: 654924

Авторы: Болотников, Котлецов, Окишева, Сокольский

ZIP архив

Текст

0 ПИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 1 ц 654924 Снюэ Ооеенеек Социалистических Республик(61) т. свид-в л интел ьное 2509731/18-1 22) Заявлено 06,07.7 02 В 19/00 с присоединением заявк сударстееииый комитет(71) Заявитель 54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ РАВНОМЕРНОГО ОСВЕЩЕОБЪЕКТА Изобретение относится к области оптического приборостроения и может найти применение в контактной фотолитографии, атакже во всех устройствах, где требуетсяполучить равномерную освещенность на ббольших полях зрения,Известны устройства для освещения объектов, состоящие из линзовых элементов,например осветительное устройство длямикроскопов 1. Осветитель представляет 10линзовую систему, включающую апертурную и полевую диафрагмы, Оптическая система, рассчитанная по принципу Келора,позволяет получить равномерную освещенность объекта. 15Недостатком осветительного устройстваявляется то, что оно имеет сложную конструкцию. Размеры освещаемого объекта немогут быть большими из-за отсутствиябольших светящихся тел источников свечения, используемых в фотолитографии.Известны также зеркально-линзовые осветители, например оптический конденсордля источника света,21. Система зеркалрассчитана и расположена так, что световой поток, исходящий из источника света,отражаясь, равномерно распределяется повсей площади освещаемого объекта.Такое устройство имеет следующие недостатки: оно имеет сложную конструкцию; ЗО изготовление зеркал эллиптической формы является сложной технологической задачей; из-за высоких температур зеркала следует изготовлять из кварца, что очень дорого; с ростом размеров освещаемого объекта растут габариты оптического конденсора.Наиболее близким по технической сущности к изобретению является устройство для равномерного освещения объекта, содержащее источник света, конденсор, выполненный в виде положительного компонента и набора микролинз 3.Для этого устройства характерна недостаточная равномерность освещенности.Цель изобретения - повышение равномерности освещения с одновременным упрощением конструкции.Поставленная цель достигается тем, что в предлагаемом устройстве для равномерного освещения объекта микролинзы выполнены с отрицательной оптической силой, удовлетворяющей соотношениюб - Нюгде Й - диаметр освещаемого объекта;д - световой размер микролинз;5 - расстояние от конденсора до плоскости объекта,при этом плоскость объекта совмещена сказ 191/9243 НПО ираж 590 одписно Типография, пр, Сапунова,плоскостью изображения источника света, создаваемой положительным компонентом конденсора.На чертеже изображена оптическая схема предлагаемого устройства.оУстройство состоит из источника 1 света и конденсора 2, выполненного в виде склейки положительного компонента 3 с набором микролинз 4. При этом микролинзы набора выполнены с отрицательной оптиче ской силой р, удовлетворяющей соотноше- нию 15 и плоскость объекта 5 совмещена с плоскостью изображения источника света, создаваемой положительным компонентом 3.Работа устройства осуществляется следующим образом. 20Конденсор 2, выполненный в виде положительного компонента 3, например плосковыпуклой линзы, проецирует источник 1 света (при отсутствии микролинз) в плоскость объекта 5, На пути хода лучей между 25 положительным компонентом 3 и плоскостью объекта 5 вблизи последней поверхности компонента 3 устанавливается набор микролинз 4, оптические оси которых параллельны оптической оси компонента 3, с З 0 отрицательной оптической силой. Пучок света, падая на каждую из микролинз 4, рассеивается последней так, что пучок перекрывает объект 5. На освещаемый объект 5 падает множество пучков лучей по числу з 5 микролинз 4. Перекрываемые пучки создают в плоскости объекта 5 равномерное освещение.Во избежание потерь света микролинзы 4 могут быть выполнены квадратной формы. 40 Плоскость освещаемого объекта 5 совмещена с плоскостью изображения источника света, создаваемого положительным компонентом 3. Неравномерность освещенности не превышает 5%,Предлагаемое устройство значительно проще и дешевле в изготовлении и не требует дополнительной сборки и юстировки отдельных элементов. Формула изобретения Устройство для равномерного освещения объекта, содержащее источник света, конденсор, выполненный в виде положительного компонента и набора микролинз, от л ичающееся тем, что, с целью повышения равномерности освещения с одновременным упрощением конструкции, микролинзы выполнены с отрицательной оптической силой, удовлетворяющей соотношениюй -- = ягде 0 - диаметр освещаемого объекта;Й - световой размер микролинз;5 - расстояние от конденсора до плоскости объекта,при этом плоскость объекта совмещена сплоскостью изображения источника света,создаваемой положительным компонентом. Источники информации,принятые во внимание при экспертизе 1, Патент США3833283, кл. 350 - 87, 1974,2. Патент Франции2090026, кл. б 02 В 19/00, 1972.3. Патент США3296923, кл. 353 в 3, 1967.

Смотреть

Заявка

2509731, 06.07.1977

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ Х-5263, ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ А-1705

БОЛОТНИКОВ ВЯЧЕСЛАВ АЛЕКСАНДРОВИЧ, КОТЛЕЦОВ БОРИС НИКОЛАЕВИЧ, СОКОЛЬСКИЙ МИХАИЛ НАУМОВИЧ, ОКИШЕВА ЛЮБОВЬ АЛЕКСАНДРОВНА

МПК / Метки

МПК: G02B 19/00

Метки: объекта, освещения, равномерного

Опубликовано: 30.03.1979

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-654924-ustrojjstvo-dlya-ravnomernogo-osveshheniya-obekta.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для равномерного освещения объекта</a>

Похожие патенты