G02B 1/10 — оптические покрытия, полученные нанесением на оптические элементы или обработкой их поверхности

Номер патента: 1649486

Опубликовано: 15.05.1991

Автор: Бугаенко

МПК: G02B 1/10, G02B 5/28

Метки: 45-1, оптических, показателем, покрытие, преломления, просветляющее, элементов

Номер патента: 1654376

Опубликовано: 07.06.1991

Авторы: Евстафеев, Захаров, Ларионов, Ушакова, Чечерников

МПК: C22C 29/06, C23C 28/00, G02B 1/10 ...

Метки: двуслойное, металлодиэлектрическое, отражающее, покрытие

...Э 1 С 1 ттРННО-У )Ст; .ГОатцЬДПСП 7 тУтам ОД;ОВРЕМЕННОГО РЛГпса 1 ения кол: 10 антов з.зтного )цкрыСодс;рЛт 1 ттс 1 созс,;ив)1 ) 11 тт 15 ТолоцРлбоч) й Д,ЛПт,ЗО 1 г,1 Ц) ОГОС)ОЯ,М 1 тия из.дгух: одоолл. д, мых т.сй.ДЛЯ ОДЮа)аЯ СОЛИЧССТВСЦ 1 цт. Сзначений 1 ст:лсдуе;ьг)с параметровполучаюс сс.1)ц обрлзддов. В сл;);ОС изсерий ,11)сс.1 оианньч) злченцем ост, -Етек тОЛ 1 СтпнЛ За)ЦТ)0 ГО СЛОЯ, а МС.ПЯется соот."щагиа кстмйнантов заццтПттК С)1 р йрлл-.,атт Ц)51 та 1 с рл -тур, К 20 0,5 0,8 1,0 0,5 0,8 1 р 0 Ор 40,5 97,5 96,8 96,76 96,1 95,8 96,8 96,05 95,7 96,2 96,0 723-1073 723-1073 723-1023 723-1073 723-1073 723-1073 723-1073 723-073 11 анае 723 723-1073 10,0 30 Формула изобретения або)11 1 ЛЯ телп 101 лтЯ 1 а сОхр,1 нс 1;иятсрлчасо 1...

Номер патента: 1686392

Опубликовано: 23.10.1991

Авторы: Журавлев, Зайцева, Моршаков, Райнина, Филин, Ямпольский

МПК: G02B 1/10

Метки: интерференционное, покрытие

...слоев + 20, и подколпачным оборудованием, обеспечивающим однородность покрытия по диаметру подложки не менее 2 ф. Загружают е первый тигель электроннолучевого испарителя материал с высоким показателем преломления, например диоксид гафния, не менее 30 г и оксид алюминия1686392 А 120 э не менее 10 г, во второй тигель - материал с низким показателем преломле. ния, например ВаР 2 и диоксид кремния в таких же количествах, Откачивают вакуумнуюкамердодавлениянехуже 2 10 торр-5 (2,66 10 Па), Проводят нанесение слоя диоксида гафния, например, со скоростью 55 нм/мин оптической толщиной 62 нм (для А нм). Затем производят нанесение фторида бария аналогичной толщины,Составитель А,ГуровТехред Ч.Моргентал Корректор А,Осауленко Редактор И,Горная...

Номер патента: 1721570

Опубликовано: 23.03.1992

Авторы: Александров, Мухамедов, Соболева

МПК: G02B 1/10

Метки: ахроматическое, покрытие, просветляющее, трехслойное

...1 = 1,38), слой 4 - из двуокиси циркония (Ег 02, п 2 = 2,02). Задав требование на ширину области(54) ТРЕХСЛОЙНОЕ АХРОМАТИЧЕСКОЕ ПРОСВЕТЛЯЮЩЕЕ ПОКРЫТИЕ(57) Изобретение относится к оптическому приборостроению и может быть использовано для ахроматического просветления оптических элементов приборов. Изобретение позволяет обеспечить заданную ширину области просветления. Покрытие состоит из трех четвертьволновых слоев, показатели преломления которых связаны соотношениэффективного просветления Лн = 430 нм, А к = 670 нм, определяем показатель преломления третьего слоя пз = 1,901, Й = 2 А н 4/(И н + А к) =525 нм, Слой 5 выполнен из смеси двуокиси кремния и двуокиси циркория,взятых в массовом процентном отношении Я 01:Ег 02 = 21:79.Формула...

Номер патента: 1748114

Опубликовано: 15.07.1992

Авторы: Волкова, Дергай, Дроздова, Тушина

МПК: G02B 1/10, G02B 5/28

Метки: интерференционное, покрытие, просветляющее

...луча близка к нулю для заданной длиныволны Ь, в Уф области спектра,Расчет конструкции просветляющегопокрытия производился на ЭВМ с помощьюспециально разработанной программы сприменением математического аппарата, с- "-учетойдисперсии показателей преломления применяемых материалов.П р и м е р . Реализацйя покрытияосуществлялась вакуумным напылением наустановке А 7000 фирмы "1.е 1 ЬоЫ Негаеиз",оборудованной системой безмасляной откачки типа ТигЬочас 1500 прецизионнымфотометрическим контролем ОМв комплекте с расширителем диапазона работы(дейтериевая лампа, Фотоумножйтель и комплект интерференционных фйльтров дляУФ-области спектра).Контроль оптической толщины слоев впроцессе напыления производился по контрольному...

Номер патента: 1793406

Опубликовано: 07.02.1993

Авторы: Винник, Пушкарь, Савчук, Циж

МПК: G02B 1/10

Метки: нанесения, покрытия, просветляющего

...в ва- отжига пленок МдЕг.кууме на оптический элемент прй комнат- Предлагаемый способ иллюстрируетсяной температуре однослойного фторида 10 следующим примером,магния толщиной, кратной четверти длины . При изготОвлении акустооптических моиспользуемого излучения, напыление про- дуляторов (АОМ) просветление граней звуводят подуглом 30-60 к нормали к напыля- копровода, . через которыеемой грани при скоростях осаждения не распространяется свет, существенно повыболее 5 1,с .,: .:, . - . 15 шает их дифракцйонную эффективность,Сопоставительный анализ с прототи- Рассматриваемый АОМ включаетзвукопропом показывает, что заявляемый способ от- вод из иттрий-аламиниевого гранаталичается тем, что напыление проводят под (УзА 15012) с и =1,83 с...

Номер патента: 1800428

Опубликовано: 07.03.1993

Авторы: Бобченок, Гаврищук, Крупкин, Перескоков, Потяк, Тралле

МПК: G02B 1/10

Метки: оптических, силовых, систем, элемента

...то видно увеличение в среднем в два раза. Хотя глубина 0,1 мкм, на которую проникают ионы кремния, составляет 3,7 ообщей толщины (2,65 мкм) просветляющей пленки и они не достигают границы раздела пленка-подложка, тем не менее облучение привело к увеличению адгезии пленки к подложке, так как при внедрении иона в твердое тело по его кристаллической решетке распространяется ударная волна, которая может генерировать дефекты на глубине 33 мкм. Этот фактор и приводит к образованию активных центров на поверхности подложки, перестройке структуры границы раздела пленка- подложка и уплотнению пленки, которая при напылении имеет рыхлую структуру.Испытания, проведенные после отжига дали значение (ъ = 5,70 + 3,15 МПа, Найдено, что имплантация ионов...

Номер патента: 1805137

Опубликовано: 30.03.1993

Авторы: Голянов, Долгий, Ольшанский

МПК: C23C 14/14, G02B 1/10

Метки: отражающего, покрытия

...в камередавления(2;66-7,98);10 Па последовательно подают электропитание (напряжение 3 - 5 кВ) на две независимые секции адля катодного распыления магния и меди(или серебра) и осаждают последовательноподслой магния толщиной 1,5 нм и основнойслой меди (или серебра) толщиной 0,2. - 15мкм,Перемещение кассеты с. подложками отсекции к секции производят с помощью ме-,:ханического привода. Толщину подслоя. и йметаллического покрытия регулируют по.0 фвремени распыления материала, . СЭкспериментально было установлено у,что М 9 образует:максимально прочные свя-зи на границе раздела подложка (кварц) -отражающее покрытие при толщине Ы1,501 нм. ЧСпособ нанесения подслоя позволяетполучитъсплошную пленку даже при толщи-не моноатомного слоя и получить...