Моршаков

Номер патента: 1686392

Опубликовано: 23.10.1991

Авторы: Журавлев, Зайцева, Моршаков, Райнина, Филин, Ямпольский

МПК: G02B 1/10

Метки: интерференционное, покрытие

...слоев + 20, и подколпачным оборудованием, обеспечивающим однородность покрытия по диаметру подложки не менее 2 ф. Загружают е первый тигель электроннолучевого испарителя материал с высоким показателем преломления, например диоксид гафния, не менее 30 г и оксид алюминия1686392 А 120 э не менее 10 г, во второй тигель - материал с низким показателем преломле. ния, например ВаР 2 и диоксид кремния в таких же количествах, Откачивают вакуумнуюкамердодавлениянехуже 2 10 торр-5 (2,66 10 Па), Проводят нанесение слоя диоксида гафния, например, со скоростью 55 нм/мин оптической толщиной 62 нм (для А нм). Затем производят нанесение фторида бария аналогичной толщины,Составитель А,ГуровТехред Ч.Моргентал Корректор А,Осауленко Редактор И,Горная...