Способ изготовления рентгеношаблона
Формула | Описание | Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 1217196
Авторы: Глуздакова, Домахина, Иванцова, Чесноков
Формула
1. СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ РЕНТГЕНОШАБЛОНА, включающий формирование на подложке слоя прозрачного для рентгеновского излучения и получение на нем маскирующего рисунка из материала, поглощающего рентгеновское излучение, формирование мембраны и опорного кольца по периферии подложки путем избирательного травления подложки, отличающийся тем, что, с целью увеличения выхода годных рентгеношаблонов путем предотвращения разрушения мембраны, перед избирательным травлением подложки на слой мембраны с маскирующим рисунком наносят упрочняющий слой, а после травления упрочняющий слой удаляют.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве материала упрочняющего слоя используют медь.
Описание
Цель изобретения увеличение процента выхода годных рентгеношаблонов путем предотвращения разрушения мембраны.
На фигурах 1-4 представлена последовательность операций изготовления рентгеношаблона способом согласно изобретению.
На фигурах показана подложка 1 со слоем мембраны 2, на которой нанесен слой 3 из материала, поглощающего рентгеновское излучение, сформированный в соответствии с топологическим рисунком. На слой 3 нанесен упрочняющий слой 4. При избирательном травлении подложки на слое мембраны остаются недотравленные островки 5 материала подложки и опорное кольцо 6. При продолжении травления островки растворяются с формированием полости 7.
П р и м е р. В кремниевой подложке 1 толщиной 0,5 мм с ориентацией (100) формировали слой мембраны 2 толщиной 2 мкм диффузионным легированием подложки бором до концентрации
1020 см3. На этом слое формировали слой 3, поглощающий рентгеновское излучение, из золота толщиной 0,25 мкм. Затем нанесли вспомогательный упрочняющий пленочный слой 4 меди электролитическим осаждением толщиной 2.10 мкм (фиг.1).Травление полости 7 в кремниевой подложке проводилось в растворе этилендиаминпирокатехин вода при температуре кипения раствора. На первом этапе травления образуются островки 5 недотравленного материала (фиг.2), которые удаляются при последующем травлении (фиг.3).
Медный подслой 4 удаляли в водном растворе хромового ангидрида и серонокислого аммония, в результате чего получали рентгеношаблоны с мембраной диаметром 80 мм с выходом годных 80-90% и более (фиг.4).
1. СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ РЕНТГЕНОШАБЛОНА, включающий формирование на подложке слоя прозрачного для рентгеновского излучения и получение на нем маскирующего рисунка из материала, поглощающего рентгеновское излучение, формирование мембраны и опорного кольца по периферии подложки путем избирательного травления подложки, отличающийся тем, что, с целью увеличения выхода годных рентгеношаблонов путем предотвращения разрушения мембраны, перед избирательным травлением подложки на слой мембраны с маскирующим рисунком наносят упрочняющий слой, а после травления упрочняющий слой удаляют.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве материала упрочняющего слоя используют медь.
Рисунки
Заявка
3773255/21, 12.07.1984
Чесноков В. В, Домахина А. М, Иванцова Н. Д, Глуздакова Г. В
МПК / Метки
МПК: H01L 21/312
Метки: рентгеношаблона
Опубликовано: 10.05.1996
Код ссылки
<a href="https://patents.su/0-1217196-sposob-izgotovleniya-rentgenoshablona.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления рентгеношаблона</a>
Прибор для контроля глубины снимаемого слоя в процессе размерного травления
Номер патента: 149988
Опубликовано: 01.01.1962
МПК: G01B 7/26
Метки: глубины, прибор, процессе, размерного, слоя, снимаемого, травления
...головка состоит из индуктивного датчика - подвижного магнитопровода 3 и сердечника 4, катушек 5, микровинтаб, электродвигателя 7 с редуктором и измерительного наконечника 8. Последний механически связан с сердечником 4 индуктивного датчика, а подвижной магнитопровод 3 укреплен 25на микрогайке 9, которая перемещается помикровинту б при вращении его от электродвигателя 7.Принцип действия прибора основан на схеМе самоуравновешивающегося моста с приме- З 0нением индуктивного датчика. При измерении глубины стр авливаемого слоя металла измерительный наконечник 8 опускается; при этом в электронном мосту, состоящем из двух катушек 5, индуктивного датчика и двух сопротивлений 10, нарушается равновесие. Импульс от разбаланса моста через...
Способ определения толщины металлическихпокрытий
Номер патента: 186747
Опубликовано: 01.01.1966
Автор: Бгб
МПК: G01B 1/00, G01N 19/04
Метки: металлическихпокрытий, толщины
...пленкорастворителем, повторяя приемы до обнажения основного металла (или промежуточного слоя), что повышает точность определения толщины покрытия.Способ заключается в следуощем.После очистки поверхности покрытия, толщину которого определяют, на нее наносят каплю пленкообразующего раствора, разрушающего поверхность на строго определенную глубину благодаря образованию запирающей пленки, препятствующей дальнейшему проникновению пленкообразующего раствора вглубь, После выдержки капли на изделии около полминуты ее снимают фильтровальной бумагой или ватой, Затем ватным тампоном, смоченным в пленкоснимающем растворе, удаляют образовавшуюся пленку и вытирают ме. фе 1. У.т 1 г 1отехнический завод ВЭФ ;фг-ц;т; Л 1 ЦИНЫ МЕТАЛЛИЧЕЫТИЙ сто опр...
Способ определения толщины роговицы глаза
Номер патента: 1639626
Опубликовано: 07.04.1991
Автор: Хатминский
МПК: A61B 3/107
Метки: глаза, роговицы, толщины
...точностью,П р и м е р 1, После обезболивания глаза закапыванием 0,50-ного раствора дикаина на роговицу помещают контактную линзу с радиусом кривизны вогнутой поверхности 8.мм, толщиной по всей площади 700 мкм и диаметром 10 мм, Через щелевой глазной. микроскоп получают световой срез одновременно контактной линзы и роговицы при произвольном направлении плоскости светового потока осветителя, Сравнивая величины световых срезов кон 1639626тактной линзы и роговицы, установили, чтоони одинаковы, а значит толщина роговицыравна 700 мкм,П р и м е р 2. После обезболиванияглаза закапыванием 0,5 оь-ного раствора 5дикаина на роговицу помещают контактнуюлинзу с радиусом кривизны вогнутой поверхности 8 мм, толщиной по всей г;лощади 700 мкми диаметром...
Способ получения ступенчатых отверстий
Номер патента: 1812699
Опубликовано: 27.05.2000
МПК: B21D 28/26, B21D 35/00, B21J 5/06
Метки: отверстий, ступенчатых
Способ получения ступенчатых отверстий в листовом материале, при котором получают отверстие, устанавливают в него с одной стороны на части его высоты стержень, с другой стороны образуют цилиндрическое углубление с диаметром большей ступени и меньшей глубиной и с упрочненным слоем в донной части путем приложения нагрузки к кольцевому участку, охватывающему отверстие, и пластического деформирования части материала, расположенной между его плоскостью и торцом стержня, уделяют стержень из отверстия, осуществляют перемещение упрочненного слоя до получения требуемой глубины большей ступени с одновременным выдавливанием материала в направлении к оси отверстия путем приложения осевой нагрузки,...
Способ получения ступенчатых отверстий
Номер патента: 1809570
Опубликовано: 27.05.2000
Авторы: Козий, Мануйлов, Хромов
МПК: B21D 28/26, B21D 35/00, B21J 5/06
Метки: отверстий, ступенчатых
Способ получения ступенчатых отверстий в листовом материале, при котором получают чистовое отверстие, устанавливают в него с одной стороны на части его высоты стержень, с другой стороны образуют цилиндрическое углубление с диаметром большей ступени и меньшей глубиной и с упрочненным слоем в донной части путем приложения осевой нагрузки к кольцевому участку, охватывающему отверстие и пластического деформирования части материала, расположенной между его плоскостью и торцем стержня, удаляют стержень из отверстия, осуществляют поэтапное перемещение упрочненного слоя до получения требуемой глубины большей ступени с одновременным выдавливанием части материала в направлении к оси отверстия путем...
Предыдущий патент: Способ очистки поверхности полупроводниковых пластин
Следующий патент: Токопроводящая клеевая композиция
Случайный патент: Счетчик микрочастиц, например к телевизионному микроскопу