Патенты с меткой «рентгеношаблона»

Номер патента: 1217196

Опубликовано: 10.05.1996

Авторы: Глуздакова, Домахина, Иванцова, Чесноков

МПК: H01L 21/312

Метки: рентгеношаблона

1. СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ РЕНТГЕНОШАБЛОНА, включающий формирование на подложке слоя прозрачного для рентгеновского излучения и получение на нем маскирующего рисунка из материала, поглощающего рентгеновское излучение, формирование мембраны и опорного кольца по периферии подложки путем избирательного травления подложки, отличающийся тем, что, с целью увеличения выхода годных рентгеношаблонов путем предотвращения разрушения мембраны, перед избирательным травлением подложки на слой мембраны с маскирующим рисунком наносят упрочняющий слой, а после травления упрочняющий слой удаляют.2. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве материала упрочняющего слоя используют медь.