Цопкало

Номер патента: 1739400

Опубликовано: 07.06.1992

Авторы: Малышева, Цопкало

МПК: H01K 1/06, H01R 4/62

Метки: зонда, измерительного, контакта, невыпрямляющего, подвижного, электрического

...понизить температуру легирования, но при этом ухудшается качество покрытия, Указанные недостатки снижают надежность контактирования и долговечность контакта.Цель изобретения - повышение надежности контактирования, долговечности контакта и упрощение его изготовления,На фиг.1 показана схема установки для термической обработки покрытия зонда; на фиг,2 - вольт-амперная характеристика механического контакта зонда с кремнием КДБ.Установка состоит из источника 1 питания, вакуумной камеры 2, нити 3 накала и зонда 4.Зонд с нанесенным покрытием помещают в вакуумную камеру на расстоянии 1,5 - 2 мм от катода, представляющего собой спираль из вольфрамовой проволоки. Вакуумную камеру откачивают до 1,3:10 Па, На 5 зонд подают напряжение до 600...

Номер патента: 1206711

Опубликовано: 23.01.1986

Авторы: Ли, Нозиков, Утишев, Цопкало

МПК: G01R 1/06

Метки: головок, зондовых

...3, содержащийвинты 4 для фиксации его в заданномположении, направляющие стойки 5,установленные на оси симметрии столика 2 с определенным шагом, Наосновании 1 установлена каретка 6с возможностью продольных перемещений посредством винтовой передачи 7,закрепленной на стойке 8, и неподвижная стойка 9 для крепления концов проволок 10, другой конец которых крепится к подвижной каретке6 (крепление проволок может осуществляться любым способом - винтами, как это условно изображено на, чертеже, или зачаливанием, защемлением и т.д.),Пример изготовления одного извозможных вариантов зондовых головок. Для изготовления зондовых головок на устройстве закрепляют четыре проволоки 10 на каретке 6 и стойке 9. .Проволоку располагают так, чтобы по обе стороны...

Номер патента: 983444

Опубликовано: 23.12.1982

Авторы: Светличный, Цопкало

МПК: G01B 7/06

Метки: диффузионных, слоев, толщины, эпитаксиальных

...или эпитаксии, что позволяет своевременно обнаружить бракованные полуфабрикаты и устранить отклонение в техническомсрежиме. Простота способа и применение недорогостоящего оборудования для его реализации позволяет использовать его на предприятиях страны, выпускающих микроэлектронные приборы. Формула изобретения Способ измерения толщины диффузионных и эпитаксиальных слоев полупроводниковой пластины, заключающийся в том, что пластину помешают на металлическом основании и производят давление металлическим зондом на пластину со стороны диффузионного или эпитаксиального слоя в пределах упругих деформаций, о т л и ч а ю ш и й с я тем, что, с целью повышения локальности, точности измерения и упрошенияспособа, на измеряемую пластину...

Номер патента: 940089

Опубликовано: 30.06.1982

Авторы: Бородянский, Цопкало

МПК: H01L 21/66

Метки: времени, жизни, неосновных, носителей, полупроводниках

...третьего ключа, управляющий вход которого 15через дополнительный элемент задержкисоединен с управляющим входом второго ключа и выходом генератораодиночных импульсов, выход элементазадержки соединен с управляющим входом первого ключа, выход третьего ключа подключен к первому входу элементасравнения и к первому выводу резистора,второй вывод которого соединен с второйобкладкой конденсатора, подключеннойк второму выходу датчика, выход блокауставки соединен с вторым входомэлемента сравнения, выход которогосоединен с управляющим входом четвертого ключа, соединенного через счетчик с блоком регистрации, к входу четвертого ключа подсоединен генераторимпульсов.На чертеже представлена структурная схема поедлагаемого устройства.Устройство содержит...

Номер патента: 284960

Опубликовано: 01.01.1970

Авторы: Дудко, Фомина, Цопкало

МПК: G01R 27/00

Метки: головок, зондовых, полупроводников, сопротивления, удельного

...сопротивление полупроводников четырехзондовым методом.При изготовлении зондовых головок известным способом в основании проделывают небольшие (10 - 30 лк) отверстия, в которые протягивают зондовые проволоки. Расстояния между отверстиями должны быть достаточно малы (до бО,як) и строго одинаковы. Сущесгвующим способом это трудно обеспечить, что отражается па качестве зондовых головок.Предлагасмьш способ отличается тем, что перед фиксацпей проьолак их располагают веерообразцо, натягивают, а затем подводят основание, перемещая его вдоль проволок до требуемого расстояния между последними, а фиксацию зондовых,проволок осуществляют путем нанесения клеящего состава на осноние с образованием каналов для размещения в них с возможностью продольного...