Способ изготовления зондовых головок

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК 9) (1 Н С 01 К 1/О Е Е ие. ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТ ИСАНИЕ ИЗ АВТОРСКОМУ С(56) Авторское свидетельство СССРФ 284960, кл, С 01 К.27/00, 1976,(54)(57) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕННЯ ЗОНДОВЫХ ГОЛОВОК, включающий натяжениепроволок на определенном расстоянииодна от другой при помощи натяжногоустройства, установку под проволоками пластины с пазом, многократноепоследовательное нанесение на проволоку с пазом клеевого состава сотрицательной адгезией к материалупроволоки и сушку, извлечение проволок, установку пластины со сформированными каналами на основаниекорпуса зондовой головки, установку зондов в полученные каналы, юстировку положения вершин зондов икрепление их на эондовой головке,о т л и ч а ю щ и й с я тем, что,целью повышения производительностиспособа путем группового изготовления зондовых головок и повышенияточности изготовления за счет воспроизводимости расстояний между вершинами зондов, натяжение проволокосуществляют вдоль направляющихстоек, установленных с определеннымшагом на натяжном устройстве, стягивают их с одной стороны направляющих стоек до взаимного соприкосновения, после чего осуществляют установку ряда пластин соответственномежду стойками и местами соприкосновения проволок, а после проведенияопераций нанесения клеевого составаи сушки проволоки освобождают открепления на натяжном устройстве иот стягивающих их элементов, а извлечение проволок осуществляютпутем последовательного съема пластин, юстировку положения вершин зондов проводят шаблоном с лункамис последующей Фиксацией их положения при помощи реэиноподобного клеевого состава,1206711 45 50 55 Изобретение относится к производству контрольно-измерительнойаппаратуры, в частности эондовыхголовок, и может быть использованодля изготовления зондовых головокс малым расстоянием между зондами,предназначенных для измерения удельного сопротивления в локальныхобластях полупроводниковых материалов.Целью изобретения является повышение производительности способапутем группового изготовления. зондовых головок и повышение точностиизготовления за счет воспроизводимости расстояний между вершинамизондов.На фиг.1 показано устройство дляреализации .способа, вид сбоку, нафиг,2 - то же, вид сверху нафиг.3 - сечение А-А на Фиг,2, нафиг,4 - узел 1 на Фиг.3; на Фиг.5 -пластина с натянутыми проволокамидо заливки клеевого состава; нафиг.6 - сечение Б-Б на Фиг,5 (послезаливки клеевого состава) на фиг.7-один из возможных вариантов зондовых головок, реализуемых предлагаемым способом.На основании .1 расположен столик 2 с возможностью вертикальныхюстировочных перемещений, подпружиненный пружинами 3, содержащийвинты 4 для фиксации его в заданномположении, направляющие стойки 5,установленные на оси симметрии столика 2 с определенным шагом, Наосновании 1 установлена каретка 6с возможностью продольных перемещений посредством винтовой передачи 7,закрепленной на стойке 8, и неподвижная стойка 9 для крепления концов проволок 10, другой конец которых крепится к подвижной каретке6 (крепление проволок может осуществляться любым способом - винтами, как это условно изображено на, чертеже, или зачаливанием, защемлением и т.д.),Пример изготовления одного извозможных вариантов зондовых головок. Для изготовления зондовых головок на устройстве закрепляют четыре проволоки 10 на каретке 6 и стойке 9. .Проволоку располагают так, чтобы по обе стороны от направляющих стоек 5 находилось по две проволоки, Между 10 5 20 25 :30 ,35 40 проволоками 10, расположенными однанад другой, параллельно столикувставляют направляющие стержни 1 инатягивают при помощи каретки 6. Затем последовательно проволоку стягивают, например, перевязывают жгутом12 у крестообразно расположенных направляющих стоек 5 и стержней 11 ипроволоки располагаются по вершинамквадрата, веерообразно расходящимсяпучком между соседними крестообразно расположенными направляющими 5и 11. Под проволоки 10 подводят пластины 13 и с помощью столика 2 и винтов 4 выбирают такое положение, чтобы проволоки 10 касались поверхностипластин 13 без заметных усилий. Продольными перемещениями пластин 13выбирают требуемое расстояние междузондами и н пазы пластин 13 заливаютклеящий состав, несмачивающий проволоки,Нанесение клеящего состава производят несколько раэ после просушки,пока проволоки не скроются под клеевой массой. После просушки на пластины 13 наклеивают пластины-накладки14, проволоку обрезают у стойки 9 икаретки 6, электролитически стравливают заусенцы и вынимают из нанесенного клеевого состава, в которомобразуются каналы, равные диаметрупроволоки и расположенные по вершинам квадрата.Полученную заготовку с каналамидля зондов наклеивают на основание15 зондовой головки (фиг.7). Заранее изготовленные и заточенные зонды 16 попарно вставляют в каналытак, чтобы они выходили на 0,5-1 ммиз каналов, и последовательно закрепляют пластиной-фиксатором 17 ипластиной-изолятором 18. Закрепляютхвостовик 19 и зондовая головка может быть использована по назначению.1Из-за отклонений от прямолинейности проволок, применяемых для изготовления зондов, расстояния между зондами могут отличаться на 5- 157. В связи с этим проводят дополнительную фиксацию зондов, которая выполняется следующим образом. Зондовую головку закрепляют вмеханизме вертикальных перемещений,например, нагружающего механизмамикротвердомера ПМТ-З, на остриязондов наносят резиноподобный сосЭ1206711 тав, например "герметик",и с помощью оптического устройства микротвердо мера зонды опускают на заранее подготовленный шаблон с лунками, расположенными на заданном расстоянии, Зон- довую головку выдерживают до полной рекристаллизации резиноподобного состава и на этом процесс ее изготовления заканчивается. Предлагаемым способом можно изготовить зондовые головки с располо 5 жением зондов по вершинам углов квадрата и с расстоянием между соседними вершинами от 50 до 500 мкм.1206711 б-б 7 орректор А. Зимокосов ред Л.Мике едактор А Шандо аказ 8705/46 Тираж 730 ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб д.