Способ изготовления зондовых головок для измерения удельного сопротивления полупроводников

284960 Союз Ссветскик Социалистические РеспубликК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Зависимое от авт. свидетельстваЗаявлено 07,711.1967 ( 1171096/25-27) л, 7 Й, 16 21 е, 29101 рисоединецием заявки МПК В 211 б 01 г УДК 621.778:621.317ПриоритетОпубликованоДата опублик Комитет по делам зобретений и открытий ори Совете Министров СССР, В. Дудко, Л. Г, Фомина икал ганрогский радиотехнический институт явитель СПОСОБ И НИЯ УДЕ ОТОВЛЕНИЯ ЗОНДОВЪХ ГОЛОВОК ДЛЯ ИЗМЕР НОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВ разно. Болтом 1 закрепляют ее конец, натягивают между установочной гребенкой 2 и крючком 3 и свободный:конец закрепляют болтом 4. Затем производят общую натяжку зоц,довых проволок с помощью винта 5 1 т перевязывают,их общим жгутом у крючка 3. Под микроскопом проверяют правильность укладки зоцдовых проволок ца стойке.Прц необходимости положение проволок 10 корректируегся металлической иглой так, чтобы проволоки лежали на стойке вплотную друг к другу.Под натянутые зондовые проволоки подводят основание, перемещая его вдоль прово лок до требуемого, расстояния между последними.Зоцдовые проволоки фиксируют нанесениемклеящего состава ца основание таким образом, чтобы клей не смачивал проволоки. При 20 этом образуются каналы для размещения проволоки, Если основание изготовлено из органцческого стекла, фиксацию производят раствором этого стекла в дихлорэтане. Затем голов,ка выдерживается до полного высыхания 25 клеящего состава. 1-1 ебольшими возвратно-поступательными продольными перемещениями добиваются необходимой подвижности проволок в каналах.Затем обреза ок 30 у крючка 3 и грЗаточку зонд оИзобретение относится к области обработки материалов для получения специальных изделий, в частности зондовых головок, измеряющих удельное сопротивление полупроводников четырехзондовым методом.При изготовлении зондовых головок известным способом в основании проделывают небольшие (10 - 30 лк) отверстия, в которые протягивают зондовые проволоки. Расстояния между отверстиями должны быть достаточно малы (до бО,як) и строго одинаковы. Сущесгвующим способом это трудно обеспечить, что отражается па качестве зондовых головок.Предлагасмьш способ отличается тем, что перед фиксацпей проьолак их располагают веерообразцо, натягивают, а затем подводят основание, перемещая его вдоль проволок до требуемого расстояния между последними, а фиксацию зондовых,проволок осуществляют путем нанесения клеящего состава на осноние с образованием каналов для размещения в них с возможностью продольного перемещения проволок.Этот способ позволяет довольно просто изготавливать головки, соблюдая между зондами одинаковое расстояние (от 1,цлт до б 0 лк), Для изготовления зондов используют вольфрамовую проволоку диаметром 100 - 50 лк.На чертеже изображено приспособление, осуществляющее предлагаемый способ,Зондовую проволоку располагают веерообют свооодные концы проволебенки 2.ов производят методом электр284960 5 3 ставитель О. Локотош Корректор А. П. Васильев олико акт Изд.1 Заказ 4009/9 Тираж 48ЦИИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий приМосква, Ж, Раушская наб., д. 4 у Поди пс ое ветс Министров СССРнпотрафия, пр. Сапунова,литического травления. В качестве электролита,применяют 100%-ный раствор щелочи (КОН или ХаОН). При этом к электролиту и зонду ,подается напряжение 1 - 6 в.После заточки зонды вытягиваются из основания так, чтобы они выходили из головки на заданную величину (0,3 - 1 м,и) и подсоединяют к контактным лепесткам головки. На этом проце" с изготовления толовок заканчивается. Предмет изобретения Способ изготовления зондовых головок дляизмерения удельного сопротивления полупроводников путем фиксации зондовых проволок на основании с возможностью продольного перемещения и последующих обрезки концов проволок, заточки и вытягивания проволок из основания на требуемую, величину, отличаошийся тем, что, с целью повышения качества зондовых головок, перед фиксацией проволок их располагают веерообразно, натягивают, а затем подводят основание, перемещая его 10 вдоль проволок до требуемого расстояниямежду последними, а фиксацию зондовых проволок осуществляют путем нанесения,клеящего состава на основание с образованием каналов для размещения в них с возможностью 15 продольного перемещения проволок.