Патенты с меткой «тонко-пленочных»
Перемычка для соединения тонко-пленочных элементов микросхем
Номер патента: 801143
Опубликовано: 30.01.1981
Автор: Кузьмин
МПК: H01L 21/00
Метки: микросхем, перемычка, соединения, тонко-пленочных, элементов
...между собой тонкопленочные элементы 1 и 2 микросхемы, при этом соединение тонкопленочных элементов801143 Формула изобретения ВНИИПИ Заказ 10445/73 Тираж 795 Подписное филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул, Проектная, 4 Т осуществляют перемычкой 3, выполненной в виде биметаллической скобы(отрезок дуги), угол наклона котороФпо отношению к плоскости расположения пересекаемого тонкопленочногоэлемента 2 составляет 10-45оИзготовление данной перемычки осуществляют следующей, последовательностью операций: нанесение слоя технологического материала, состоящего изМ и Си; формирование окон в слоетехнологическогоматериала путем еготравления; формирование биметаллической перемычки путем гальваническогоосаждения Ац и Сг слоя технологического...
Резистивный материал для тонко-пленочных резисторов
Номер патента: 809410
Опубликовано: 28.02.1981
МПК: H01C 7/00
Метки: материал, резистивный, резисторов, тонко-пленочных
...вес.в: Каждую смесь сплавляют отдельно в электрической печи, углерод в виде мелкодисперсной сажи вводят в расплав после плавления хрома и кремния,Иэ каждой смеси резистивного материала отливают мишень диаметром 130 мм, толщиной 12 мм. После остывания мишень подвергают механической обработке для снятия верхнего слоя на глубину О, 5-1 мм, ионно-плазменным распылением в атмосфере аргона при рабочем давлении 3,410 Па иэ нее получают резистивные пленки с поверхнзостнык сопротивлением 0,5.1 кОм/ммЭксплуатационные испытания резистс-ров на основе сплава хром-углерод- кремний в температурном интервале до 400 С и в вакууме 10Па в течение 1000 ч показывают, что изменения номинальных значений сопротивлений составляют не более 7,8.Установлено,...