Патенты с меткой «плазмообразующая»

Плазмообразующая смесь для самовосстанавливающихся катодов

Загрузка...

Номер патента: 1655702

Опубликовано: 15.06.1991

Автор: Болотов

МПК: B23K 10/00

Метки: катодов, плазмообразующая, самовосстанавливающихся, смесь

...смесь состоитлеводорода и окислителя, причем в качеуглеводорода используют спирт изжирных кислот, а в качестве окислитеводу при следующем отношении компотов, мас,%: изобретения - стабилизация работы катода в режиме самовосстановления, Для этого используют плазмообразующую смесь, соСтоящую из углеводорода и окислителя, В качестве углеводорода используют спирт из ряда жирных кислот, а в качестве окислителя - воду при следующем соотношении компонентов, мас.%: спирт жирного ряда 64-67; вода остальное. Жидкий спирт жирного ряда (64 - 67 мас,%), например, протанол и воцу (остальное) смешивают. Затем полученную смесь нагревают до 130 - 1600 С и газообразную смесь подают в плазмообраэующий канал плазмотрона, Смесь обеспечивает постоянное...

Плазмообразующая газовая смесь

Загрузка...

Номер патента: 1731498

Опубликовано: 07.05.1992

Авторы: Аксенов, Балакин, Белянский, Борисов, Гречкин, Ефименко, Фридлянд

МПК: B23K 7/00

Метки: газовая, плазмообразующая, смесь

...101 ха) в процессе формирования постоянно возобновляющегося катода.Указанную плазмообразующую смесь газов получают непосредственно в автономном генераторе при пропускании воздуха через нагретый от 650 до 720 С углерод,П р и м е р 1, В плазмотроне с углерод- содержащим катодом зажигают дугу в среде плазмообразующей смеси газов, получаемой непосредственно в генераторе путем окисления углерода кислородом воздуха при 650 С. При этой температуре получают плазмообразующую смесь газов, содержащую, об.%: окись углерода 12; двуокись углерода 15; азот 72,5, водород 0,5. Дугу поддерживают на токе 150 А. Расход плазмообразующего газа 2000 л/ч. В указанных условиях дуга горит стабильно, катод постоянно возобновляется углеродом в результате...

Плазмообразующая смесь для плазмохимической обработки разводки алюминия и его сплавов при изготовлении сбис

Загрузка...

Номер патента: 1814435

Опубликовано: 27.07.1996

Авторы: Корешков, Родин, Сасновский, Турцевич, Цыбулько

МПК: H01L 21/28

Метки: алюминия, изготовлении, плазмообразующая, плазмохимической, разводки, сбис, смесь, сплавов

...алюминия и его сплавов происходит уменьшение вероятности коррозии разводки и затрава в межслойный диэлектрик,Верхний предел содержания кислорода в смеси, равный 55 об,; обусловлен увеличением радиационных повреждений и разбавлением смеси, это приводит к увеличению вероятности коррозии разводки алюминия и его сплавов.Нижний предел содержания кислорода в смеси, равный 45 об,о обусловлен снижением скорости травления фоторезиста и уменьшением толщины защитной пленки на боковой поверхности разводки, что приводит к увеличению вероятности коррозии разводки алюминия и его сплавов,Верхний предел содержания гексафторида серы в смеси, равный 25 об, обусловлен увеличением скорости травления двуокиси кремния, что приводит к увеличению затрава...