Патенты с меткой «ионного»

Номер патента: 533113

Опубликовано: 10.05.2006

Авторы: Данилов, Метлов, Морозов, Пионтковский, Покидышев, Поляков, Силицкий, Соколов

МПК: C23C 8/36

Метки: азотирования, ионного, металлических, процесса, разряде, тлеющем

1. Устройство для регулирования процесса ионного азотирования металлических деталей в тлеющем разряде, содержащее емкость с газом, вакуумную камеру, подсоединенную к указанной емкости трубопроводом с установленным в нем редуктором давления, вакуумный насос, электропневматические краны, сигнализатор давления и регуляторы температуры и напряжения, отличающееся тем, что, с целью обеспечения автоматического регулирования процесса одновременно по давлению и температуре, в трубопроводе между емкостью с газом и вакуумной камерой установлен электромеханический натекатель, электрически соединенный с сигнализатором давления и регулятором температуры через программирующее устройство. 2....

Номер патента: 1292601

Опубликовано: 20.06.2012

Авторы: Автюшков, Бобченок, Борисов, Гурский, Симонов

МПК: H01L 21/265

Метки: ионного, легирования

Установка ионного легирования, включающая последовательно расположенные в вакуумной камере источник многозарядных ионов, масс-сепаратор, состоящий из магнита с полюсами, выполненными в форме секторов в плоскости, перпендикулярной магнитным силовым линиям, и расположенного между полюсами и повторяющего их форму в той же плоскости ионопровода, ускорительную трубу и подложкодержатель, отличающаяся тем, что, с целью увеличения производительности и возможности регулирования профиля концентрации внедренных ионов, каждый из секторов выполнен из n частей в форме полукольца и расположенных внутри него четвертьколец, изготовленных из однородных магнитных материалов, средние радиусы полукольца и...

Номер патента: 1144560

Опубликовано: 27.06.2012

Авторы: Автюшков, Бобченок, Борисов, Гурский, Круковский

МПК: H01L 21/265

Метки: ионного, легирования

Установка ионного легирования, содержащая систему формирования и транспортирования пучка ионов, блок измерения дозы с усилителем постоянного тока, приемную камеру с расположенным в ней контейнером с кассетами, в которых выполнены сквозные пазы, совмещенные с датчиками Фарадея, находящимися внутри контейнера и электрически соединенными с входом усилителя постоянного тока, отличающаяся тем, что, с целью повышения процента выхода годных приборов, установка дополнительно содержит кристалл биполярного планарного транзистора, размещенный на кассете, и блок измерения времени рассасывания биполярных транзисторов, электрически соединенный с кристаллом транзистора, причем поверхность кристалла со...