Номер патента: 184389

Авторы: Ивановский, Мах, Назаров

ZIP архив

Текст

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ) 84389 Союз Советских Социалистических Республиквисимое от авт. свидетельстваявлено 14.1 Ч.1965 ( 1003517/26-2 с 1, 3/О соединением заявкиМПК Г 04УДЕ 533.582(088.8) риоритетпубликовано 21,Ч 11.1966. Бюллетень1ата опубликования описания 10.1 Х.19 бб митет по делам зобретении и открыт при Совете Министре Авторыизобретения С. Назаров, Э. А. Мах,яви ПЕРНО-ИОННЫЙ НАСО наружного цилиндра ержни надеты полюсчестве источника магпользовать соленоид. еменным напряжениатура 1200 С, На тельное напряжение ющим внаст б. Вка жно ис тся пер темпер оложи по образ С торцо онечники поля мо ель питае рабочая одается пленных корпуса ные нак нитного Испарит ем, ег анод2 ЕВ 10 20 зобретения Предм зацией в элексодержащий вещества, слуотличающийсяэффективности терно-иониый насосском и магнитном и испаритель геттей одновременно качто, с целью повыш нои лях ого трнчеаноджащтем,одом ения Известны геттерно-ионные насосы с ионизацией в электрическом и магнитном полях, содержащие анод и испаритель геттерного вещества, служащий одновременно катодом. Эффективность ионизации остаточных газов зависит от взаимного расположения электродов, электрического и магнитного полей. В существующих конструкциях насосов оиа недостаточно высока.В предлагаемом насосе анод выполнен в виде спирали, а испаритель-катод из титано- молибденовой проволоки имеет П-образную форму и расположен с внешней стороны анода в плоскости его осевого сечения.На чертеже изображен насос в разрезе, Цилиндрический корпус 1 насоса из нержавеющей стали имеет верхний и нижний фланцы и рубашку водяного охлаждения, Верхним фланцем насос присоединяется к откачиваемому обьему, нижний служит для соединения с цоколем насоса.Цоколь насоса имеет металлокерамические вводы 2 и электроды: испаритель-катод 3 и анод 4. Анод представляет собой спираль из молибденовой проволоки, навитую на две молибденовые траверсы. Он имеет цилиндрическую форму, но может быть эллипсным, прямоугольным и т. п.Магнитная система представляет собой ряд стержней 5 из магпинового сплава, установ 1. -; вановский и М, В Кузнт 1 нрвАктивные газы откачиваются за счет химического связывания свеженапыленной титановой пленкой, образующейся на внутренней поверхности корпуса насоса, Инертные газы откачиваются за счет их ионизации и внедрения ионов, ускоренных электрическим полем, в титановую пленку, Высокая эффективность ионн. зации обеспечивается большой протяженностью электронных траекторий, которая определяется взаимным расположением и формой электродов, электрического и магнитных полей.184389 ионизации остаточных газов, анод выполнен в виде спирали, а испаритель-катод имеет П-обСоставитель Г. Жуковадактор И. Г. Карпас Техред Г. Е. Петровская Корректор С. Н. Соколо 25 формат бум. 60 К 90/з Объем 0,13 изд. л. Подписное делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРМосква, Центр, пр, Серова, д. 4 Типография, пр, Сапунова, 2 Заказ 2540/4 Тираж ЦНИИПИ Комитета п разную форму и расположен с внешней стороны анода в плоскости его осевого сечения,

Смотреть

Заявка

1003517

А. С. Назаров, Э. А. Мах, Г. Ф. Ивановский, М. В

МПК / Метки

МПК: F04B 37/06, H01J 19/70, H01J 21/18

Метки: геттерно-ионный, насос

Опубликовано: 01.01.1966

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-184389-getterno-ionnyjj-nasos.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Геттерно-ионный насос</a>

Похожие патенты