Цифровая машина для управления процессами электронно лучевой микрообработки

(22) Заявлено 28,06,77 (21) 2500779 Л 8-24 с присоединением заявки Рй 606 Г 15/20 Риударотвкииый коиитет СССР до долото изобретений и открытий(ч) уд(.3206;621 .9 (088,8) Дата опубликования описания 05,12,79,В, П. Деркач, Л. Я. Згуровец и В, Р, Ракитский(72) Авторй изобретения Ордена Ленина Институт кибернетики АН УССР(54) ЦИФРОВАЯ МАШИНА ДЛЯ УПРАВЛЕНИЯ ПРОЦЕССАМИ ЭЛЕКТРОННОЛУЧЕВОЙ МИКРООБРАБОТКИИзобретение касается вычислительнойтехники и может быть использовано дляавтоматизированного управления процессами производства защитных масок ифотошаблонов и 1 ти непосредственно компонентов интегральных схем на основе эли 5онной технологии,Известйа цифровая машина для управления процессами электроннолучевой микрообработки, содержатдая устройство управления, блок тренсмиттера,10запоминающее устройство, блок управления буферное запоминаклдее устройство,блок выполнения операций, блок управления координатным столом, блок совмещения осей координат, блок отклонения,15блок угловых преобразований изображений 11,С помощью такой машины осуществляется управление перемещением и модуляпией электронного пучка, перемещением координатного стола и точным совмещением отдельных участков подложкипо отношению к электронному пучку, В 2результате на подложке формируется изображение микроструктуры интегральной схемы, В этой машине, благодаря включению в ее структуру средств, выполняющих преобразование и интерпретацию геометрической информации, реализуется язык высокого уровня, позволяющий значительно упростить процесс ,:программирования и сократить количество вводимой информации особенно для схем с периодической регулярной структурой,Наиболее близкой по технической сущности к предложенной являетсямашина, содержащая блоки ввода информа 1 йти, памяти, интерпретации, анализа поворотов, буферное запоминающее устройство и процессор; соединенные кодовой шиной и шинами управляющих сигналов, блок коррекпии, соединенный двух сторонними связями с процессором и подключенный управляющим и информационным входами соответственно к выходу блока управления и к первому информаци3 70онному входу машины, выходы блокакоррекпии подключены соответственно кпервым входам блока отклонения и блока управления приводами координатногостола, второй вход которого соединен совторым информапионым входом машины,выходы блока управления приводами ко-.ординатного стода подключены соотвеъствейно к первому и второму управля-ющим выходам машины, блок управления приводами координатного столасоединен двухсторонними связями с про.пессором, выходы которого подключенысоответственно к третьему, четвертомуи пятому управляющим выходам машины,блок контроля токов отклонения и блокотклонения соединены .двухстороинимиФсвязями с процессором, входы блокаконтроля токов,отклонения соединенысоответственно с третьим и четвертыминформационными входами машины; выходподключен ко второму входу блока оъ-,клонениа, выходы которого подключенысоответственно к шестому и седьмомууправляющим выходам машины, выходблока анализа поворотов соединен с соответствующим входом процессора 12.С помощью такой машины осуществ ляется управление электроннолучевойустановкой при изготовлении масок илинепосредственно компонентов интегральных"схем, Для уменьшения, объема вводимых данных, упрощения процесса программирования, сокращения затрат напрограммирование, и, как следствие,повышения эффектйвности машины. в ней.предусмотрен режим многоуровневыхпреобразований топологических единиц.Это йоэводяет формировать регулярныеструктуры из некоторых базовых рисунков, причем, полностью описываютсялишь базовые фрагменты, а для образования подобных им в описании указывается по одной точке привязки длякаждого повторяющегося рисунка и видпреобразования базовых топологических .единиц, Ноддя ряда случаев даже такоезадание топологии- оказывается недьстаточно. эффективным,В настоящее время получают распро-.странение матричные структуры (БИС).К ним относятся все БИС памятипостоянной, оперативной и другие схемь на их основе, являющиеся матричными. К матричным структурам приводитячеечный метод проектирования БИС, получающий в настоящее время широкое.применение в связи с развитиемавтомати 2378 4 10 15 20 25 30 35 40 50 5 зации проектирования. Для матричныхБИС характерно наличие инвариантовв их структуре и, следовательно, вописании в большей степени, чем этоимеет место в других структурах БИС,Поэтому важно обеспечить такую формузадания матричной топологии, котораяисключала бы избыточность описания.С точки зрения описания существенной особенностью матричных структурявляется то, что они включают ограниченное количество типов элементов (вчастном случае - один); регулярность жеразмещения однотипных элементов в пределах матрипы, за исключением БИСоперативных ЗУ, либо носит фостровковыйфхарактер, либо отсутствует вообще,Поэтому при сплошном описании однородной матрипы (состоящей иэ Одинаковых элементов) в описаниинеобходимоуказать координаты многих точек привязки, что является излишним, Количество точек привязки можно несколькосократить, если в структуре выделитьрегулярные Островки" и для адресациикаждого иэ них указать по одной точкепривязки, а размещение элементов впределах фостровковф описать параметраМи мультипдикапии, т,е, указать величины шагов.н количество повторений поосям Х и У, Но для этого необходимовыполнить оптимизированную декомпоэипию схемы по критерию минимизапииописания, что вручную, при большом количестве элементов в матрипе осуществить практически невозможно, Это обуславливает необходимость использованияуниверсальной ЭВМ, что затрудняет оперативное изготовление и увеличиваетстоимость микросхем особенно при необходимости проработки нескольких различных вариантов, Кроме того, даже ив этом случае количество входной информании все же остается избыточным,Это является недостатком известной машины, приводящим к снижению ее эффективности при изготовлении матричныхструктур с нерегулярным расположением однотипных элементов,Цель изобретения - повышение эффективности машины при воспроизведениитопологйи интегральных схем с матричной структурой за счет снижения зафат на программирование и умейьшениеизбыточности входной информапии,Для этого в машину введен блокпифрового маскирования, соединенныйдвухсторонними управляющими связями25 5 7023с блоком управления, выходом подключенный ко входу процессора и соединенныйкодовой шиной с блоками ввода информации, памяти, интерпретации, буфернымзапоминающим устройством и процессором, Блок пифрового маскированиясодержит два регистра, две схемы сравнения, два счетчика, два элемента И,числовую матрицу, элемент неравнозначности, триггер, причем входы каж, 10,пой схемы сравнения подключены к выходам соответствующих регистров и первым входам соответствующих счетчиков,выходы - ко входам первого элемента И,выход которого подключен к информационному входу числовой матрицы и куправляющему выходу блока, входы регистров соединены с кодовым входом иуправляющим входом блока, второй выход первого счетчика подключен к первому входу второго элемента И, выход которого соединен с управляющимвыходом блока, второй выход второгосчетчика соепичен со входом первого,счетчика, вторым входом второго элемента и управляющим выходом блока,управляющие входы счетчиков соедине.ны с управляющим входом блока, входы1 числовой матрицы соединены соответственно с первыми выходами счетчикови управляющим входом блока, выход -с первым входом элемента неравнозначности, второй вход которого соединенс выходом триггера, входы которого соединены с управляющим входом блока,выход элемента неравнозначности соединен с выходом блока, управляющий выход которого соединен с выходом второйсхемы сравнения.40На фиг. 1 показана структурная схема ма- .шины; на фиг. 2 - пример выполнения блокацефрового маскирования; на фиг, 3 и 4 -структурные матрицы и соответствуюшиеим цифровые масеи (схематически).В состав машины входят: блок управпения 1, блок 2 ввода информации,блок памяти 3, буферное запоминаюшееустройство 4, блок интерпретации 5,процессор 6, блок анализа 7 поворотов, 0блок коррекции 8, блок отклонения 9,блок контроля 10 токов отклонения, блокуправления 11 приводам координатногостола, блок 12 цифрового маскирования.Блок 1 служит для распределения информации между устройствами машины иуправления их взаимодействием. Блок 2предназначен для ввода в машину информации с перфоленты или печатающего 78 6устройства, Геометрическая информацпя, а также данные о технологических режимах заносится в блок памяти 3, Кроме .того в блоке 3 хранятся описания топологии стандартизованных элементов, представляющие собой библиотеку типовых решений, Текущая информация, с которой оперирует процессор при выполнении тех или иных стандартных процедур, хранится в буферном запоминаюшем устройстве 4, Елок 5 осушествляет перевод описания топологии в машинное представление, выполняя декомпозици 1 о фрагментов пля выделения базовых элемент тарных фигур, с которыми оперирует процессор, Процессор выполняет построение элементарных фигур, формирует временные параметры возпействия луча на материал, управляет интенсивностью пучка, задает перемещение координатного стола, а также управляет операциями коррекции. Блок 7 задает для процессора вид фактического поворота элементарных фигур при сочетании поворотов старших и подчиненных топологических единиц. Блок 8 предназначен для выработки корректируклцих воздействий с целью 1привязки местоположения луча по отношению к рабочему полю с учетом компенсации линейного сдвига и разворота осей координат, а также установки требуемых геометрическихразмеров поля отклонения, Блок 9 преобразует пифровые значениякоординат, впропорциональныеФгтоки пля перемещения луча в требуемое место поля отклонения и осуществляет смещение единичных полей отклонения в препелах полного поля отклонения. Блок 10 осуществляет контроль токов отклонения и смешения и корректирует последние при нарушении их поразрядных соотношений, Блок 11 управляет приводами перемещения координатного стола, ,В блоке 12 в цифровом виде записывается схема размешения элементов структуры, представляющая собой цифровую матричную, маску, Блок 1 имеет пвусторонние связи пля обмена унравляюшей информацией с блоком ввода 2 и блоком памяти 3, а также шины. управляющих сигналов 13 и 14 пля связи с блоком интерпретации, управляющие 1 цины 15 и 16 - для связи с процессором, По пине 17 происходит обращение к буферно-. му запоминающему устройству. По шине 18 осуществляется запись кодов признаков поворота фигур. По буцине 19 блок 1 управляет работой блока 8 при55 7 70237 выполнении коррекций полоиення по маркерным знакам, которые поступают с соответствующнх датчиков, Поиск маркерных знаков, вычнсление составляющих погрешности и реализация линейной коррекпйи происходит при взаимодействии процессора и блока 8, соединенных двухсторонними связями; Управляющие связи 20 и 21 предназначены для управ-, ления работой блока 12, который связью 1 О 22 соединен с процессором 6, Компенсация погрешности масштаба происходит в результате воздействия блока коррекции 8 по связи 23 на блок отклонения 9, а угловой разворот осей - при воздействии на блок 11, По связи 22 нз блока 12 в пропессор поступают сигналы, в соответствии с которыми,он вос- производят "илн пропускае тот нлй иной элемент структурной матрицы, Цнфровые значения координат с выхода процессора поступают в блок отклонения 9, который варабатывает на управляющих выходах 24 и 28 пропорциональные отклоняющне токи. С выхода блока 9 в процессор поступают сигналы об окончании переходных процессоров в цифоаналоговых преобразователях, По двусторонним связям процессор управляет, также операциями контроля и коррекцннЗо токов смещения, осуществляемых блоком 10 при поступлении на его входы с информационных входов машины 26 и 27 токов, снимаемых соотввтственно в цепях катушек смещения и отклонения, По управляющим выходам 28 н 29 процессор управляет интенсивностью пучка (гоком и энергией), а по управлягощему выходу 30 - его бланкированием, Управление же координатными приво 40 дами осуществляется по управляющему выходу З 1 при воздействии процессораМъна блок 11, С информационного входа 32 в блок 11 поступают сигналы от45 датчиков перемещения координатного стола, Признак фактического поворота фигур с выхода блока 7 поступает в процессор, настраивая его на преобразование коюрдннат фигур в соответствии с50 видом поворота, По управляющему выходу 33 блок 11 осуществляет управление приводами координатного стола, С информационнбго входа машины 34 в блок 8 коррекции поступают сигналы с соответствующих датчиков. Обмен информа пней между блокамн и устройствами машины осуществляется по кодовой шине 35. 8 8На фиг. 2 показаны: регистры 36и 37, счетчики 38 и 39, схемы сравнения 40 и 41, элемент И 42, числовая магрица 43, триггер 44, элементнеравнозначности 45, элемент И 46,По управляющему входу 201 выполняется начальная установка счетчиков.По управляющему входу 20 пронсходнт запись в регистры кодов, определяющих номер строки и столбпа структурной матрицы, на пересечении которых расположен воспроизводимый илипропускаемый элемент, По управлякщему входу 20 подаются сигналы счета, а по входу 20, - сигнал записи вчисловую матрицу, по входу 20 - снгнал считывания, Сигналами на управляющих входах 20 н 20 г устанавливается в-нулевое .или единичное состояниегриггер 44, На управляющем выоде21 вырабатымется снгнал прн равенстве номера элемента структурной матрицы номеру ячейки числовой матрицы,а на управляющем выходе 21 - при равенстве номеров столбцов, На управляющих выходах 215 и 214 возбуждаются сигналы, при переполнении счетчиков39 н 38,На фиг, 3 и 4 штриховкой условнопоказаны однотипные элементы магричной топологии, воспроизводимые наопределенном этапе технологическог опроцесса, причем на фиг, 3 таких элементов меньше, чем пропусков, Поэтомув числовой магрице они обозначены кодом ф 1 ф, На фиг, 4 наоборот меньшепропусков, поэтому они копируютсяединицами, а воспроизводимые элементыиулями, Программа работы машины вводятся с помощью блока 2 в блок памятя3 под воздействием сигналов, формируемых блоком управления 1. Э описатель- .ной части программы содержатся данныео взаимном размещении составных частей полного рисунка данного элементаматрицы, для чего здесь приводятсякоординаты точек привязкн, в которыедолжны быть помещены начала тех илииных частей рисунка, Кроме того, длявсех подобных фрагментов указываетсявид поворота их относительно первообразных фигур, описание которых приводится полностью в виде координат вершин контуров, образующихфигуры. Всекоординаты вершин приводятся в собственной системе координат, в качественачала которой берется пересечение линий, проходящих через точки рисунка сминимальными орлинатой и абсциссой,В описании также указывается генеральное начало отсчета, в качестве которогоиспользуется, например, левый нижнийугол кристалла или начало координатлевого нижнего элемента матрицы, Наконец, указывается шаг размещенияэлементов матрицы по осям Х и У, Генеральное начало отсчета и величинышагов являются обобшествленными параметрами для данной матрицы, описанияже каждого нового типа элементов приводятся отдельно, При этом допускаетсяиспользование частей рисунков, описанных в другом элементе матрицы, илирисунков из библиотечного набора, Параметры технологических режимов облучения и инструкции выполнения служебных процедур (коррекций и контроля)являются самостоятельными конструкциямн матобеспечения и могут вводиться независимо от остального описания, Управляющая часть программыпомимо задания алгоритма переадресации, т.е, последовательности воспроизведения частей рисунка данного элемента матричцой структуры, содержиттакже данные о конфигурации размещения этого элемента в пределах матрицы, Для этого все элементы матрицынумеруются по строкам и.столбцам, ив управляющей части программы в возрастающем порядке указываются номера тех элементов, которые, должны эк-спонироваться, Эта часть программыобразует так называемую цифровую маску, которая заносится в блок 12, Длязаписи цифровой маски устанавливаютсявнулевое состояние счетчики 38 и 39,выполняющие функцию адресных регионров числовой матрицы 43, На кодовойшине 38 возбуждается число, определяющее номер первого воспроизводимогоэлемента матрицы, Код этого числазаносится в регистры 36 и 37, причемв регистр 36 поступают старшие разряды числа, (номер строки матрицы), ав регистр 37 - младшие разряды (номер столбца), На вход счетчика 39 повходу 20 поступают сигналы, в резуль:тате пересчета которых осуществляетсяперебор всех ячеек числовой матрицы43, Синхронно с сигналами счета навходе 20, возбуждаются сигналы записи, До тех пор, пока коды на выходахсчетчиков 38 и,39 не сравняются скодами регистров 36 и 37, на выходепервого элемента И будет фО", и в10 15 20 25 30 35 4 О 45 50 55 соответствующие ячейки числовой матрицы будут записаны нули, поскольку выход элемента 42 подключен к информационному входу числовой матрицы. Присравнении номера элемента матрицыс адресом ячейки, образующимся в счетчиках 38 и 39, на выходе элемента И42 вырабатывается сигнал единичногоуровня, В соответствующую ячейку записывается "1", и, кроме того, сигналзапроса по управляющему выходу 214поступает в блок управления 1, В этомслучае в регистры 36 и.37 заноситсякод номера очередного элемента матрицы, и цикл заполнения числовой матрипы продолжается, При переполнениисчетчиков 39 и 38 на выходе второго.,элемента И 46 формируется сигнал,поступающий в блок управления 1, Поэтому сигналу определяется моментокончания заполнения числовой матрицы.В тех случаях, когда воспроизводимыхэлементов матрицы много, а пропусковмало, целесообразнее обозначать последние, При этом происходит запись обратной маски, осуществляемая аналогично.предыдущему, за исключением того,что ф 1" обозначаются пропуски междуэлементами структуры (фиг, 4). Записьобратной маски учитывается триггером44, который цри этом устанавливаетсяв единичное состояние, Размерностьчисловой матрицы в общем случае может не соответствовать размерностивоспроизводимой структурной матрицы. Поэтому в случае недостаточногоее обыема структурная матрица разбивается на ряд подматриц, которыевводятся в блок 1 2 и воспроизводятсяпоследовательно, Если размерностьструктурной матрицы мала, то размерность числовой матрицы при выборке из,нее информации, ограничивается, Дляэтого в регистры 36 и 37 вводятся номера строк и столбцов ограничивающихразмерность матрицы, При воспроизведении рисунка из блока памяти 3 вбуферное запоминающее устройство 4заносятся координаты точек привязкифрагментов и величины шагов размещения элементов матрицы по осям Х и У,Устанавливаются в исходное состояниесчетчики 39 и 38, на управляющем,входе 205 возбуждается сигнал чтения .. и опрашивается первая ячейка числовой,матрицы 43, Если в блоке 12 было записано прямое изображение маски, тоэлемент неравнозначности 45 не оказы.ввет влияние на считанный нз числовойматрипы сигнал, поскольку триггер 44находятся в нулевом состоянии, В случае же обратноймаскн на вйхопе блокаобразуется инверсный сигнал; Йа каждомжакте опроса блока 12, т,е, считыванияцифровой маски, процессор 6 суммнрует к генеральному началу отсчета величину Х шага раэмещення элементов.матрицы в строке н проверяет значениесигнала на связи 22, Прн появлении наней сигнала единичного уровня опросблока 12 прерывается, а на требуемомместе подложкивоспроизводится первый элемент структурной матрицы. Приэтом описания фрагментов нз блокапамяти 3 передаются поочередно в блок8, который осуществляет сннхронное,с воспроизведением, разбиение нх наэлементарные фигуры. Координаты опорных точек каждой нэ фигур передаются .из блока 5 в буферное запоминающееустройство 4 н служат исходной информацией для процессора, Процессор вычисляет координаты всех промежуточ- .ных точек фигур н выполняет необходимые .нх преобразования в соответствиис видом геометрических превращенийкомпонента рисунка, опрепеляемых .блоком7, а также с учетом нх местоположения на подложке, Блок 9 преобразует цифровые значения координат в пропор, цнональные координатные токи, отклбняя пучок в требуемое место технологнческой эоны. После завершения экспонирования подложки в данном единичном поде.отклонения снова пронсходнт обращение к блоку 1 2 н определяется местополо- жение очередного элемента магрвчной структуры в соответствии с цифровой маской, Момент окончании очередной строки структурной матрипы определяется но сигналу сравнения на управляющем выходе 212, а перебор ячеек данной строки числовой матрицы продолжается до появления на управляющем выходе 215 сигнала переполненйя счетчика 39; Прн этом содержимое счет, чика 38 увеличивается на едннипу, чемосуществляется переход к следрощей . строке числовой матрицы, а процессор суммирует к ордннате строки величину шага перемещения У, выполняя йереход к следующей строке структурной матрицы, после чего воспронзводятся элементы, расположенные в этой строке, . Аналогично воспроизводятся все элементы структуры, обозначенные в дайнойцифровой маске, Признаком завершенияразме 1 пення всех элементов данной матрицы служит сигнал сравнения кодовв счетчиках 38 н 39 с кодамн регистров 36 н 37 соответственно, в которыхпрн воспронзведеннн содержнтся номерграничного элемента матрицы, Послевоспроизведения последнего элементапроцессор вырабатывает сигнал запроса нв шине 15 в соответствии с которым блок управления 1,. воздействуяна блок ввода 2, заменяет использованную цифровую маску новой, н воспроизводится очередной элемент структуры,Такие циклы продолжаются до тех пор,0 15 пока все элементы структуры не будутвоспроизведены на соответствующихучастках технологической зоны, Послеэтого с помощью блока 11 процессорзаменяет технологическую зону перемесшепнем коорпннатного м. После 20 перемещення стола, а также перноднческнв процессе воснронзведення проверяется н прн. необходимости корректируется положение пучка относительно маркерных знаков, что позволяет проводить микрообрвботку с максимальной точвзвешенность токов, формируемых блоком 9,Введение в структуру машины блокацифрового маскнровання позволяет упростить процесс программирования н значительно сократить количество вводимой информации в случае интегральныхсхем с матричной структурой с нерегулярным расположением однотипных элементов, в частности матричных БИС,Прн ввтоматнческом составлении программ электроннолучевой микрообработкн уменьшается время использованияуниверсальной ЗВМ, поскольку вместомногих сотен эначеннй координат,которые необхопнмо вычислять, машинадолжна выпать лишь схему размещенияэлементов,50 Формула изобретения 1, Цифровая машина для управления процессами электроннолучевой микрообработки, содержащая блокн ввода информации; памяти, интерпретация, управления, анализа поворотов, буферное запоминающее устройство н процессор соединенные кодовой шиной н шинами ностью взаимного расположения элементов, Периодически с помощью блока 10 проЗ 0:веряется н корректируется поразрядная,702378 управляющих сигналов, блок коррекпии,соединенный двухсторонними связями спроцессором и подключенный управляющим и информационным входамисооьветственно к выходу блока управленияи к первому информационному входумашины, выходы блока коррекции подключены соответственно к первым входам блока отклонения и блока управления приводами координатного стола, второй вход которого соединен со вторыминформационным входом машины, выходы блока управления приводами координатного стола подключены соответственно к первому и второму управляющим 15выходам машины, блок управления природами координатного стола соединендвухсторонними связями с процессором,выходы которого подключены соответственно к третьему, четвертому и пятому 2 Оуправляющим выходам медины, блокконтроля токов отклонения и блок отклонения соединены двухсторонними связями с процессором, входы блока контроля токов Отклонения соединены соответственно с третьим и четвертым информапионными входами машины, выход под.ключен ко второму входу блока отклонения, выходы которого подключены соответственно к шестому и седьмому управляющим выходам машины, выход блокааналйза поворотов соединен с соответствующим входом пропессора, о т л ич а ю щ а я с я тем, что, с целью повышения эффективности при воспроизведенни топологии интегральных схем сматричной структурой за счет снижениязатрат на программирование и уменьше ния избыточности входной информапии,в нее введен блок цифрового маскйрования, соединенный двухсторонними управляющими связями с блоком управления,выходом подключенный ко входу йроцессора и соединенный кодовой шиной сблоками ввода информации, памяти, интерпретапии, буферным запоминающимустройством и пропессором,142. Цифровая машина по п, 1, о тл и ч а ю щ а я с я тем, что блокпифрового маскирования содержит дварегистра, две схемы сравнения, двасчетчика, два элемента И, числовуюматрицу, элемент неравнозначности,триггер, причем входы каждой схемысравнения подключены к выходам соответствующих регистров и первым выходам соответствующих счетчиков, авыходы соединены со входами первогоэлемента И, выход которого попключенк информационному входу числовой матрипы и к управляющему выходу блока,входы регистров соединены с кодовым:входом и управляющим входом блока,второй выход первого счетчика подключенк первому входу второго элемента И,выход которого соединен с управляющимвыходом блока, второй выход второгосчетчика соединен со входом первогорчетчика, вторым входом второго элеМента И и управляющим выходом блокаууправляющие входы счетчиков соединеныс управляющим входом блока, входы числовой матрицы соединены соответственно с первыми выходами счетчиков иуправляющим входом блока, выход подключен к первому входу элемента неравнозначности, второй вход которого соединен .с выходом триггера, входы которого соединены с управляющим входомблока, выход элемента неравнозначности соединен с выходом блока, уцравляющий выход, которого соединен с выходомвторой схемы сравнения,Источники ин формациипринятые во внимание при экспертизе 1. Авторское свидетельство ГССРй 477417, М,Кл, 606 Р 15/20,1974,2, Списание изобретения по заявке702378 Филиал ППЛ "Патент", Ужгород, ул. Проектная ЦНИИПИ Тираж 7 7590/ дписное