Устройство для ориентированного перемещения изделий

. РЕСПУБЛИН 19) (1 И 5 К 3/00; Н 01 Ь ОСУДАРСТ 8 ЕННЫО ДЕЛАМ ИЗОБРЕ ОМИТЕТ СССР ТЕНИЙ И ОТНРЫТИИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ ЕЛЪСТВУ АВТОРСКОЬЮ ее точ(21 ) 3391 959/1 8-21(54)(57) 1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОРИЕНТИРОВАННОГО ПЕРЕМЕЩЕНИЯ ИЗДЕЛИЙ, преимущественно установок цляконтроля фотошаблонов, содержащеео фдве каретки, установленные оцна наддругой в направляющих, поворотный стол,установленный на оцной из кареток, иприводные механизмы для перемещениякареток и стола, о т л и ч а ю щ с я тем, что, с целью повышения ности ориентирования, оно снабжено дополнительными направляющими, закрепленными на каретках, приводные механиз.мы для перемещения кареток и стола выполнены в вице пьезоцвигателей, а каждый из пьезоцвигателей перемещения кареток выполнен в вице двух прямоугольных пьезокерамических пластин, раоположениых с двух сторон дополнительной направляющей, причем кажцая из пьеэокерамических пластин выполнена иэ четырех секций, расположенных по ее уг- . лам, а секции, расположенные по циагоналям пьезокерамической пластины, влек- д . трически попарно,соединены между собой и с аналогичными секциями другой льезокерамической пластины пьеэодвига- С теля.31018265 4виц сверку; на фиг, 3 - поворотный стоп; этой операции блоком управления выдаетна фиг, 4 - фиксаторы кареток; на фнг.8- ся сигнал перемещении стопа по оси Х.пьезодвигатепи дпя перемещения кареток. Дпя этого на пьеэоцвнгатепь 13 подаетУстройство .содержит основание с нап- ся высокочастотное напряжение, а с фикравпяющими 1, на котором установленасаторов 15 снимается постоянное напракаретка 2, а наней каретке 3. На ка- жение. Тем самым расстормаживается каретке З.размещен новорстный стоц 4 с ретка 3 координатного стола и поц воз-.жестко закреппенной обоймой 5. Посред-. действием механического контакта пьеэьством упругих элементов 6 на обойме двигателя 13 и направляющей 11 арф- закреплена предметная плита 7. Поворот-. 1 О ка 3 начинает перемещаться. Точностьный стоп 4 посредством кронштейна 8 и позиционирования изделия ЗЗ опредепяеттопкатепя 9 подсоединен к пьезоцвигате- ся цатчиком 34 обратной связи. При сняпю 10. Каретки 2 и 3 снабжены допоп- тии напряжения с пьезодвигатепей 13 цонитепьиыми направляющими 11 и 12, с дается напряжение на фиксаторы 18, кокоторыми взаимодействуют соответствен-. з торые фиксируют каретку 3 от перебегано пьезодвигатепи 13 н 14 н фиксаторы по инерции в заданной координате.18 и.16. На предметной плите 7 закре- Рабочее перемещение по координатеппены пьезокерамические виброопоры 17 У осуществляется аналогичным образом.с концентраторами 18. В поворотном сто- .По окончании. ориентации иэцепия 33 цойе 4 напротив виброопор 17 установпе- о дается сигнал о возвращении устройстваны регулируемые опоры 19. фиксаторы в исходное положение дпя следующей за 15 н 16 выцапнены в виде пьезокерами- грузки и ориентации изделия, Обработаеческих стержней 20, установленных меж- ное юцепие передается на позицию. вы.ду двумя упругими мембранами 21. Мем- грузки; Реверсированне движения каретокбракы 21 соединены .межцу собой цпан з:2 и 3 осуществляется изменением фазыкаин 22, а одна из мембран снабжена -питающего напряжения. пьеэоцвигатвпейрегупировочном винтом 2 З. Пьезодвига- . 1 3 и 14 через коммутирующее устройтели 13 и 14 перемещения кареток 2 и ство, состоящее из постоянных магни 3 состоят из корпуса 24; в .котсром рас тов 35 к герконов 36.полагаются пьезокерамические пластины зй Работа пьезодвигатепей 13 и 14 осу28. н. 26,. каждая из.которых выполнена ществпяется следующим образом,из четырех секций 27, 28, 29 и 30 Питающее напряжение подается от геПьезокерамические пластины 25 и 26 . нератора (не показан) на секции 28 и, снабжены регупировочными винтами 31 29 пьезоппастин 25 и 26, которые соеи.упругими элементами 32. Дпя фикса- цинены между собой параллельно, В ппаоции положения изделий ЗЗ имеются дат- тинах 25 и 26 возникают продоньные., чики 34 обратной связи и коммутаторы, и поперечные деформации и между башвкпючающие магниты 35 и герконы 36, маками цпастин и дополнительной направУст йствстро ство работает следующим об- пяющей возникает движущая сапа . ото-.В исходном состоянии устройство на-, .че питающего напряжения на секции 27.ходится в позиции загрузки издепвя. Изделие 33 подается нй предметную ппиту,и 30 пластик 28 и 26 пржсходитворотноо .стопа 4 и фикоирУетсяоируется Геометрические размеры пластин 28 и 26цию ориентации. На блок управления (не фретоти их были равны. В то ржа когдапоказан ) выдается сигнан с готовности .. к ориентапии. По сигналсти на секции 28 и 29 подается питающеерП иг у Разрщдения. с . высокочастотное напряжение с секцийблока управления проводится ориентацияиэделия 33 цо углу - пьезоцвигатепем . ого э екта дпя по ст ки27. и 30 снимается на .жение за счетпрямого эффекта цпя подстроке частотыпьезокерамическими вибрсепорами 17,При подаче высокочастотного напряжещи, которуютает иа той частоте резонанса котояа виброопорю 17 последние начинаютииеют пластины 25 и 26 и данный моаю м рени, Т мым ыаюсачастото, амппиту- Кцд пластИет эа счет концентра и 14;торов 18 и предметная плита 7 иачижетпринимать нужное ппоасопараппепьноеРабота фиксаторов 18 и 16 каретокположение с изделием 33. Доокончании 2 и 3 закпючаетж в следующем.5 10182При включении всей системы на пьезокерамические стержни 20 подается постоянное чапряжение, За счет обратного пьезоэффекта пьеэокерамические стержни 20 расширяются в сторону направляющих 5 11 и 12 и затормаживают ее симметрично с двух сторон. Движение пьезоэлементов возможно за. счет расположения их между мембранами 21, имеющими возможность перемещаться в одну сторону, 10 так как с другой стороны они упираются в регулировочный винт 23. При движении кареток 2 и 3 напряжение питания с пьезокерамических стержней 20 снимается и под воздействием упругих сил мембран 21 направляющие 11 и 12 растормаживаются. Таким образом достигается усилие фиксации в статическом положении и при остановке кареток в заданной координате. 65 6При перемещении кареток 2 и 3 возникают кинематические, температурные и другие деформации, которые влияют на расположение изделия 33 на плоскости. Для его ориентации плоскопараллельного положения на пьезоэлементы 1 7 подается высокочастотное напряжение от генератора (не указан). Последние начинают механически колебаться с амплитудой, которая усиливается концентраторами 18, Между концентраторами 18 и опорами 1 9 образуется газовая сжатая пленка, которая перемещает предметную плиту 7 с изделием 33. Возможность перемещения плиты 7 достигается за счет упругих элементов 6. Поворот по углу иэделия 33 осуществляется поворотным столом 4, который соединен с льезодвигателем 10.д 4 Филиал ППП Патент", г. Уж ул. Проектная, 4 Тираж 845ПИ Государственного комитета СССпо делам изобретений и открыт5, Москва, Ж, Раушская на