Раствор для травления покрытий из нитридов и карбонитридов титана

,ЯО,1/3 94 С ПИ Ан ОБ ТЕН ЛЬСТВУ олог убцов. Н,А,Н и 7042,атмосфере ацетилен установке УРИЗ 279 или азота (на 8). 59 раз ой гал -5 мкм а пластиным 20 к 20 мм наносится хрома толькино з карбонитрид ваничес и нитри п рения тий дугой ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР Н АВТОРСКОМУ С 8(54) РАСТВОР ДЛЯ ТРАВЛЕН 1 И ПОКРЫТИЙИЗ НИТРИДОВ И КАРБОНИТРИДОВ ТИТАНА Изобретение относится к химической обработке металлических поверхностей, в частности к химическому удалению металлидных покрытий, и может быть использовано в различных отраслях промышленности, например в ювелирной и часовой.Целью изобретения является интенсификация процесса травления покрытий из нитридов и карбонитридов титана и исключение растравливания подслоя хрома и материала основы.Раствор готовят смешиванием компонентов.Составы растворов для травления представлены в табл.Н из латуни ЛСдов титана с помощью ина электрической вакуум(57) Изобретение относится к химической обработке металлических поверхностей, а именно к химическому травлению покрытий из нитридов и карбонитридов титана. Целью изобретенияявляется интенсификация процессатравления покрытий и исключениерастравливания подслоя хрома и материала основы. Химическое травлениеосуществляется в растворе при следующем соотношении компонентов, мас.7:фтористоводородная кислота 75-85;азотная кислота 8-12; фторид натрия0,08-0, 1; уротропин 0,02-.0,03; водаостальное, 4 табл. С помощью спектрофотометра Сфопределяется коэффициент отражения хромированных пластин из латуни. Также проводится визуальный осмотр кзждой пластины с покрытием из хрома и определяется ее вес. Затем на установке 01-НИ-008 (УРМЗ 279,048) наносится нитрид или карбонитрид титана. Далее пластины с покрытием Сг + Т 1 И или Сг + Т 1 СК травятся в разных растворах (согласно табл, 1). Конец травления определяется визуально по изменению цвета покрытий, время травления фиксирус:ся секундомером. В заключение на пластинах со стравленным покрытием (из нитрида или карбонитрида титана) определяются коэффициент отражения, внешний вид и вес.Результаты экспериментов приведены в табл.2.На пластинах, обработанных в растворе 1, наблюдается равномерная матовая поверхность серого цвета с отдельными мелкими островками из не- удаленных соединений титана. После травления коэффициент отражения уменьшается с 88 до 51%.При обработке деталей в растворе 2 поверхность хрома после травления равномерная блестящая, не требует последующей полировки. Блеск (коэффициент отражения) покрытия и вес образцов не изменяются. Снятие покрытий в растворе .3 (беэ добавок фторида натрия и уротропина) и в растворе 4 (содержание фторида натрия больше О, 1%, уротропина - больше 0,03%) приводит к неравномерному растравливанию хромового покрытия, что особенно заметно на острых углах, а через поры покрытия и самой основы. Блеск покрытий резко ухудшается. Образцы к дальнейшему использованию не пригодны.Далее проводят испытания травильных растворов, состав которых Приведен в табл. 3, для удаления покрытий из нитридов и карбонитридов титана с корпусов 6 раслетов часов, изготовленных из латуни ЛС, и корпусов часов, изготовленных из нейзильбера с гальваническим покрытиемрромом 4-6 мкм.На детали наносят покрытия из нит" ридов и карбонитридов титана 0,5 мкм методом ионно-плазменного напыления в вакууме на установке УРИЗ 279,048. Химическое травление проводят при комнатной температуре на установке УЛУГМ.Полученные результаты даны в табл, 4 (номер раствора для травления соответствует номерам в табл.З).Скорость травления покрытия определяют расчетным путем с помощью измерения средней толщины покрытия на микроинтерферометре "ХпетКасоР", Полноту снятия покрытия контролируют по изменению коэффицйента отраже ния, который измеряют на" спектрофотометре СФна деталях до нанесения ионно-плазменного покрытия и после завершения процесса травления.На деталях, обработанных в предлагаемом растворе, покрытие удалено полностью, признаков растравливанияхромового подслоя и материала основы не обнаружено,. величина коэффициента отражения поверхности до травления и 5после не меняется. В случае удаления покрытий в известном растворе величина коэффициента отражения уменьшается с 88 до 51%. Скорость травления покрытия в предлагаемом растворе в 100 10 раз больше, чем в известном.Таким образом, в сравнении с известным предлагаемый раствор позволяет интенсифицировать процесс травления нитридов и карбонитридов титана, 15 исключая растравливание хромовогоподслоя и материала основы. Формула и з обретения 20Раствор для травления покрытийиз нитрндов и карбонитридов титанапреимущественно по подслою хрома,содержащий азотную, кислоту и воду, 25 о т л и ч а ю щ и й с я тем, что,с целью интенсификации процесса иисключения растравливания подслоя хрома, он дополнительно содержит фтористоводородную кислоту, фторид натрияи уротропин при следующем соотношении компонентов, мас.%: ФтористоводороднаякислотаАзотная кислотаФторид натрияУротропинВода 75-85 8-12 0,08-0,1 0,02-0,03 Остальное40 Таблица 1 Компоненты раствора45 80 80 80 0,1 - 8 0,02 - 0,2 Ос- Ос- ОсОсное ное ное ное Азотная кислота 50 Фтористоводородная кислота Фториднатрия 55 Уротропин1470811Э а Э ан о оХ НЭ Э ф ф Нхх к аф фо Э Ф И й 6хРОа хэ хэ а ах Ф 63 д н х 3 а лэ о н в и Фн охх ао о ацце иф нРэн ооацэох е:ниохон Э Х ф хоох й 3 ф а ц 3 ха Ф эхо мох цюо э аЭР хнох х Р: хц 1 л фЭ чОл О Оф.ОФномЦ ЯЭИйех алР ЭЫ Н Й л х иФ ф2 э о о х хх ноехоо эх с.ао хфаэхЭИРй эа охи ГФ л- Х Э хвоях 3 охоо, алХМаэ иэаРан оовооэфйнмх Оо о о э а х о ц Х Э о е 1 Е охи а х ц.л х э эх кцох Й хо а х аэи ь х о х1470811 Таблица 3 Компонентыраствора Содержание компонентов, мас.%, в составе 3 4 изест 8 10 12 30 75 80 85 тальною АзотнаякислотаФтористоводородная кислота147081111 ЭФэврЕ НЕх х щЭ Э Ох х х б4 хф э х00 Д Ох э Ф эаахО 1 о о Э 1"о о э Э 3 л д Э а э х ц о х хо Е1. ХЭ 5д Й0 сЬЦС ЭМЦ лх оо м дЦ Х 0 ФХХ Ц Ц.,Э э ох хоь Эо о х Э Э х Э Х ц хо о а о о Э х а б о л Э о ф оа Ю о- 1 1 1 1ойдо О 1 О 1 00 СЬ сл Ич л л 00 1 О 1Ф х х х х Ф о д х б а а 1 Х (бл о Э О а 3ф л О л ф а а 0 Х 1 О 11 О 1 СО СО 10 ОхоС 1о э1" Юо до ФД ФИооэЭ Е Е Х б ЕЕоац л1 л о е-це- о Е 1 ЕХ 1 0 Оа Ю о 1 о Е ЕХиа о 1:";,л.О 11 Е 4 о